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公开(公告)号:CN110108223A
公开(公告)日:2019-08-09
申请号:CN201910505285.7
申请日:2019-06-12
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提供一种散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法,涉及光学测试技术领域。其特征在于:包括激光器和分束镜,所述激光器发射的激光经所述分束镜分为透射光和反射光;所述透射光经扩束镜扩束后照射至被测物形成漫反射光,所述反射光依次经光纤、透镜和分光棱镜后作为参考光进入光路;所述被测物表面的漫反射光依次经光阑、成像透镜和迈克尔逊剪切装置后,获得具有剪切量的两束物光;所述具有剪切量的两束物光和光纤引入的参考光在CCD相机的靶面上干涉,形成散斑干涉图。本发明可对被测物进行散斑和剪切的同步动态检测,是一种无损、全场、高精度的测量系统。
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公开(公告)号:CN108226170A
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:CN201810079279.5
申请日:2018-01-26
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及剪切散斑干涉技术领域,具体公开了一种基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统。其包括激光器、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一偏振片、空间光调制器、第三透镜、第二偏振片和CCD;激光器出射的激光依次经过被测物表面、第一透镜、第一偏振片和第二透镜,SLM对第二透镜输入光的傅里叶变换进行调制,并给e光号增加相位因子,经SLM调制的e光和未经SLM调制的o光经第三透镜入射到第二偏振片,e光和o光分别经第二偏振片产生的第一光束和第二光束投照到CCD靶面上,以在CCD靶面相互干涉。该检测系统既克服人工调节剪切量带来的测量误差,且对SLM的反射角度要求低,降低系统调节的难度,对激光光源无要求。
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公开(公告)号:CN108759720A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810580836.1
申请日:2018-06-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明提供一种光滑表面面型测量方法,涉及表面测量技术领域。本发明解决了面型测量时,测量速度缓慢的技术问题,公开了S1、布置第一显示装置、第二显示装置、分束器、彩色相机,所述第一显示装置显示的散斑图案发出的光穿过分束器后照射在所述待测物的位置与所述第二显示装置显示的散斑图案发出的光经过分束器反射后照射在待测物的位置相同;S2、所述彩色相机拍摄所述待测物,获取所述待测物表面反射形成的图像,并分析所述图像,获取所述图像上的至少一个点;S3、分析图像上获取的每个点所对应的入射点的位置;S4、根据上述所有获取的入射点的位置,得到待测物表面面型。本发明可广泛用于表面测量领域。
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公开(公告)号:CN106767489A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201710161241.8
申请日:2017-03-17
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/16
CPC classification number: G01B11/162
Abstract: 本发明公开了一种数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法,其特征是:低相干激光器的出射光经分光片后分为透射光和反射光,透射光经扩束后照射被测物面,反射光经平面镜和扩束镜后照射被测物面;测量面漫反射的光经分光棱镜后分为两束光;两束光分别经平面镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上。本发明可对被测物的微小面内变形进行动态测量,是一种全场、高精度、易操作的测量系统。
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公开(公告)号:CN110108223B
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN201910505285.7
申请日:2019-06-12
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提供一种散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法,涉及光学测试技术领域。其特征在于:包括激光器和分束镜,所述激光器发射的激光经所述分束镜分为透射光和反射光;所述透射光经扩束镜扩束后照射至被测物形成漫反射光,所述反射光依次经光纤、透镜和分光棱镜后作为参考光进入光路;所述被测物表面的漫反射光依次经光阑、成像透镜和迈克尔逊剪切装置后,获得具有剪切量的两束物光;所述具有剪切量的两束物光和光纤引入的参考光在CCD相机的靶面上干涉,形成散斑干涉图。本发明可对被测物进行散斑和剪切的同步动态检测,是一种无损、全场、高精度的测量系统。
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公开(公告)号:CN108731810A
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201810580992.8
申请日:2018-06-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明公布一种分焦平面偏振成像测量方法与装置,可解决传统频域处理法无法获取被测场景完整的偏振状态导致存在误差的技术问题。包括将微波片阵列、偏振片、图像传感器依次紧贴设置,所述微波片阵列的微波片与图像传感器的像素一一对应;通过图像传感器进行测量,具体包括以下步骤:A、图像传感器采集图像,并获取图像数据;B、对图像数据进行傅里叶变换,获取该图像的频谱;C、将所述图像的频谱分割成相互不混叠的四个区域;D、对四个区域的频谱,通过矩阵运算,求出斯托克斯矢量四个分量;E、再通过傅里叶逆变换求出斯托克斯矢量四个分量的图像数据,进而完成偏振成像的测量。本发明能够测量斯托克斯矢量全部分量,减小偏振成像测量误差。
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公开(公告)号:CN108648154A
公开(公告)日:2018-10-12
申请号:CN201810393755.0
申请日:2018-04-27
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G06T5/00
Abstract: 本发明提供一种相位图的滤波评价方法,本发明实施例中,在每次对包裹相位图进行相位滤波之后,利用平滑样条拟合函数确定包裹相位图中预定区域内的像素点的灰度值的预测值,计算预定区域内预测值与实际灰度值的均方根误差,之后计算对包裹相位图进行相位滤波前后两次得到的均方根误差的差值,并判断该差值是否大于或等于预定值,在该差值大于或等于预定值时,再次对包裹相位图进行相位滤波,否则结束对包裹相位图进行相位滤波操作。上述技术方案能够准确的确定对包裹相位图的滤波处理是否完成,从而可以实现散斑图像处理过程中滤波环节的自动化,对于提高散斑干涉系统的实用化和软件的易用性具有很重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN108648154B
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN201810393755.0
申请日:2018-04-27
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G06T5/00
Abstract: 本发明提供一种相位图的滤波评价方法,本发明实施例中,在每次对包裹相位图进行相位滤波之后,利用平滑样条拟合函数确定包裹相位图中预定区域内的像素点的灰度值的预测值,计算预定区域内预测值与实际灰度值的均方根误差,之后计算对包裹相位图进行相位滤波前后两次得到的均方根误差的差值,并判断该差值是否大于或等于预定值,在该差值大于或等于预定值时,再次对包裹相位图进行相位滤波,否则结束对包裹相位图进行相位滤波操作。上述技术方案能够准确的确定对包裹相位图的滤波处理是否完成,从而可以实现散斑图像处理过程中滤波环节的自动化,对于提高散斑干涉系统的实用化和软件的易用性具有很重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN108759720B
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201810580836.1
申请日:2018-06-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明提供一种光滑表面面型测量方法,涉及表面测量技术领域。本发明解决了面型测量时,测量速度缓慢的技术问题,公开了S1、布置第一显示装置、第二显示装置、分束器、彩色相机,所述第一显示装置显示的散斑图案发出的光穿过分束器后照射在所述待测物的位置与所述第二显示装置显示的散斑图案发出的光经过分束器反射后照射在待测物的位置相同;S2、所述彩色相机拍摄所述待测物,获取所述待测物表面反射形成的图像,并分析所述图像,获取所述图像上的至少一个点;S3、分析图像上获取的每个点所对应的入射点的位置;S4、根据上述所有获取的入射点的位置,得到待测物表面面型。本发明可广泛用于表面测量领域。
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公开(公告)号:CN106767489B
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201710161241.8
申请日:2017-03-17
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明公开了一种数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法,其特征是:低相干激光器的出射光经分光片后分为透射光和反射光,透射光经扩束后照射被测物面,反射光经平面镜和扩束镜后照射被测物面;测量面漫反射的光经分光棱镜后分为两束光;两束光分别经平面镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上。本发明可对被测物的微小面内变形进行动态测量,是一种全场、高精度、易操作的测量系统。
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