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公开(公告)号:CN114324359B
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202111661421.5
申请日:2021-12-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明提供了一种物体双端面离面变形梯度分布同步测量系统,涉及物体双端面离面变形梯度分布测量技术领域。本发明的第二透镜L2与第五透镜L5构成一个4f系统,第四透镜L4和第五透镜L5构成另一个4f系统,可扩大视场并确保相机采集得到的物体两个端面的像的完整性。通过调整两剪切模块,使得端面A所成的两个错位像分布于相机靶面的左半区域,端面B所成的两个错位像分布于相机靶面的右半区域。两个端面所成的像各自剪切干涉,互不干扰,从而实现对两个端面的离面变形梯度分布的同步测量。此外,本发明构建系统还可用于目标的缺陷检测。
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公开(公告)号:CN108731810A
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201810580992.8
申请日:2018-06-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明公布一种分焦平面偏振成像测量方法与装置,可解决传统频域处理法无法获取被测场景完整的偏振状态导致存在误差的技术问题。包括将微波片阵列、偏振片、图像传感器依次紧贴设置,所述微波片阵列的微波片与图像传感器的像素一一对应;通过图像传感器进行测量,具体包括以下步骤:A、图像传感器采集图像,并获取图像数据;B、对图像数据进行傅里叶变换,获取该图像的频谱;C、将所述图像的频谱分割成相互不混叠的四个区域;D、对四个区域的频谱,通过矩阵运算,求出斯托克斯矢量四个分量;E、再通过傅里叶逆变换求出斯托克斯矢量四个分量的图像数据,进而完成偏振成像的测量。本发明能够测量斯托克斯矢量全部分量,减小偏振成像测量误差。
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公开(公告)号:CN118129627B
公开(公告)日:2024-08-02
申请号:CN202410122752.9
申请日:2024-01-29
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提供一种基于散斑干涉的高灵敏度镜面变形测量系统及方法,涉及一种光学测量系统,包括成像元件,还包括激光器;第一分光棱镜,用于将激光器产生的激光束分为反射光和透射光;所述透射光穿过投影镜并被偏振分光平片和待测光滑表面依次反射后照射在粗糙表面上,形成漫反射光;部分所述漫反射光被待测光滑表面反射并依次穿过偏振分光平片、第一光阑及成像透镜后被第二分光棱镜反射,照射在成像元件上;部分所述反射光经第一反射镜反射后穿过第二分光棱镜,照射在成像元件上;所述投影镜的焦点位置与第一光阑中孔的中心位置关于所述偏振分光平片对称设置;本发明提供的测量系统可用于待测光滑表面变形的高精度测量及动态测量。
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公开(公告)号:CN109297931A
公开(公告)日:2019-02-01
申请号:CN201811405017.X
申请日:2018-11-23
Applicant: 合肥工业大学
CPC classification number: G01N21/45 , G01N21/8806 , G01N21/8851 , G01N2021/8887
Abstract: 本发明实施例公开一种基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统,包括:激光器、第一透镜、三组束器组、成像器件;所述第一透镜设置在所述激光器与被测物之间,所述激光器发出的光束经所述第一透镜照射在被测物上,所述被测物反射光经所述三组束器组后在所述成像器件上成像;其中,所述三组束器组中每一组束器组包括分束器、合束器、第二透镜及孔径光阑,所述第二透镜及所述孔径光阑设置在所述分束器与所述合束器之间光路上。本发明实施例将被测物分成三束光路成像到像面上,并且相互干渉,从而通过单个相机对被测物进行三方向同步剪切散斑检测。
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公开(公告)号:CN108226170A
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:CN201810079279.5
申请日:2018-01-26
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及剪切散斑干涉技术领域,具体公开了一种基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统。其包括激光器、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一偏振片、空间光调制器、第三透镜、第二偏振片和CCD;激光器出射的激光依次经过被测物表面、第一透镜、第一偏振片和第二透镜,SLM对第二透镜输入光的傅里叶变换进行调制,并给e光号增加相位因子,经SLM调制的e光和未经SLM调制的o光经第三透镜入射到第二偏振片,e光和o光分别经第二偏振片产生的第一光束和第二光束投照到CCD靶面上,以在CCD靶面相互干涉。该检测系统既克服人工调节剪切量带来的测量误差,且对SLM的反射角度要求低,降低系统调节的难度,对激光光源无要求。
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公开(公告)号:CN105115476B
公开(公告)日:2017-08-25
申请号:CN201510557426.1
申请日:2015-09-02
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多点离焦探测的平板倾斜测量装置,其特征是:设置检测光路是以点光源为照明光源,经半透半反镜和物镜照射在被测平板的待测点上,其反射光经物镜、半透半反镜和反射镜后通过针孔板上针孔投照在四象限探测器的某一象限上;检测光路共有四路,均具有相同的结构形式,以四象限探测器的中心呈旋转对称,针孔板上四个针孔与探测器四个象限的中心在位置上一一对应,通过比较探测器四个象限检测的光强差信息,判断被测平板在X,Y方向上的倾斜状态。本发明可对被测平板的倾斜程度进行四点同步检测,实现平板倾斜状态的快速测量并提供检测信号,检测范围不受探测器的面积的限制,简化了结构。
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公开(公告)号:CN111103217B
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN201911381123.3
申请日:2019-12-27
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明提供一种快速响应的高精度光散射浊度计测量装置,其中,包括柔性腔体、覆盖在柔性腔体内壁上的遮光膜层、设置在柔性腔体顶部的支撑结构、设置在柔性腔体底部的通气孔、设置在柔性腔体底部的支撑板、设置在柔性腔体支撑板上的光散射浊度计。测量开始时,通过通气孔排空腔体内的空气,之后注入待测气溶胶,利用光散射浊度计测量所述气溶胶的粒子特征。由于在密闭腔体内测量,测量粒径范围较广,并且相对于难以抽气的刚性腔体来说,柔性腔体可以利体积的变化排空空气,降低了腔体加工成本,节省了大量的气体,同时换气的速度得到加快,提高了测量效率。另外柔性体积扩大便捷,大体积减小了腔体壁的漫散射,有利于提高测量的信噪比。
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公开(公告)号:CN113847880A
公开(公告)日:2021-12-28
申请号:CN202110860150.X
申请日:2021-07-28
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明提供了一种镜面三维变形的高精度测量方法,涉及材料测试及光学实验技术领域。所述方法包括以下步骤:S1、布置测量系统;S2、调节成像系统与标定;S3、获取图像序列;S4、计算。本发明对彩色相机采集到的每一张图片进行通道分离,得到的每一组单通道图片都是同一时刻同一角度且同一状态下的,不必考虑同步触发及环境等问题,因此该方法排除了所有可能影响测量结果的因素,极大地提高了测量精度,另外采用单相机即可对镜面被测物实现非接触无损三维测量。
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公开(公告)号:CN108226170B
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN201810079279.5
申请日:2018-01-26
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及剪切散斑干涉技术领域,具体公开了一种基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统。其包括激光器、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一偏振片、空间光调制器、第三透镜、第二偏振片和CCD;激光器出射的激光依次经过被测物表面、第一透镜、第一偏振片和第二透镜,SLM对第二透镜输入光的傅里叶变换进行调制,并给e光号增加相位因子,经SLM调制的e光和未经SLM调制的o光经第三透镜入射到第二偏振片,e光和o光分别经第二偏振片产生的第一光束和第二光束投照到CCD靶面上,以在CCD靶面相互干涉。该检测系统既克服人工调节剪切量带来的测量误差,且对SLM的反射角度要求低,降低系统调节的难度,对激光光源无要求。
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公开(公告)号:CN108489987A
公开(公告)日:2018-09-04
申请号:CN201810231943.3
申请日:2018-03-20
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及光学检测技术领域,公开了一种用于光滑表面物体内部缺陷的检测装置,其包括激光器、扩束镜、散斑产生装置、剪切干涉装置和电荷藕合器件图像传感器,所述激光器出射的激光经所述扩束镜扩束后照射到所述散斑产生装置,经所述散斑产生装置形成散斑后入射到被测物体的光滑表面,携带所述被测物体的表面信息的散斑经过所述剪切干涉装置照射到所述电荷藕合器件图像传感器靶面上,以在所述电荷藕合器件图像传感器靶面上形成散斑干涉图,其中,所述散斑产生装置包括若干块毛玻璃,所述毛玻璃的粗糙面面向所述扩束镜。该检测装置不改变被测物体表面性质、激光利用率高,且对激光器的要求低。
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