公开(公告)号：CN107795852A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710850322.9

申请日：2017-09-20

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥鑫晟光电科技有限公司

发明人： 殷鹏飞 ,  王志强 ,  马行空 ,  李明龙 ,  陈荣龙 ,  吴彬

IPC分类号： F17D3/14 ,  F17D3/01

CPC分类号： F17D3/14 ,  F17D3/01

摘要： 本发明提供一种热排放部件及热排放部件装置。热排放部件包括：热排管路，用于排放热排气体；与热排管路连通的回液排放管路，热排管路冷凝产生的回液流向回液排放管路；将热排管路与回液排放管路之间的连路进行导通或阻断的第一阀门；将回液排放管路与外界大气进行导通或阻断的第二阀门；控制器，具有第一工作模式和第二工作模式，用于在执行第一工作模式时，控制第一阀门和第二阀门关闭，在执行第二工作模式时，控制第一阀门和第二阀门开启。本发明在热排管路的基础上进行改进，增加了回液排放管路、控制器、第一阀门和第二阀门，能够利用控制器对第一阀门和第二阀门的控制，将整个热排管路所存积的回液通过回液排放管路进行排放。

公开(公告)号：CN207867212U

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201820003651.X

申请日：2018-01-02

申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 马行空 ,  王志强 ,  郭光龙 ,  王辉 ,  吴彬 ,  孙强

IPC分类号： G03F1/84 ,  G03F7/20

摘要： 本实用新型公开一种掩膜板检查组件及曝光机，属于曝光技术领域。掩膜板检查组件包括：控制件和m对检查件，m为正整数；m对检查件设置于掩膜板的待检查板面所在侧，每对检查件包括光发射器和光接收器，每对检查件的光发射器与每对检查件的光接收器相对设置，且每对检查件的光发射器和光接收器分别与控制件电连接；控制件用于控制目标检查件的光发射器发射光线，根据目标检查件的光接收器是否接收到目标检查件的光发射器发射的光线，来检查掩膜板的待检查板面上是否存在异物，目标检查件为m对检查件中的任一检查件。本实用新型有助于解决掩膜板的检查效率较低的问题，有助于提高掩膜板的检查效率。本实用新型用于掩膜板检查。