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公开(公告)号：CN107024833B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201710457815.6
申请日：2017-06-16
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G03F7/00
摘要： 本发明公开了一种精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。
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公开(公告)号：CN108449525B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201810254021.4
申请日：2018-03-26
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要： 本发明提出一种自动光学检查中标准图像的获取方法及自动光学检查设备，其中，方法包括：持续获取待检查对象的扫描图像；获取所述扫描图像与当前的标准图像之间的差异；根据所述差异，确定是否更新当前的标准图像；如果需要更新所述当前的标准图像，则利用所述扫描图像更新所述当前的标准图像，得到最终的目标标准图像。通过本方法，能够保证得到的目标标准图像中不存在缺陷，进而能够提高利用目标标准图像进行缺陷检测时的检测效果。
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公开(公告)号：CN106054543B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201610682413.1
申请日：2016-08-17
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本发明提供一种对位方法及对位系统，其方法包括：采集步骤，采集各个对位区域的图像；判断步骤，判断所有的图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则根据所有的对位区域进行对位步骤；若否，则进行筛选步骤；筛选步骤，自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的至少一个对位区域进行对位步骤；对位步骤，将基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。本发明提供的对位方法，其可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提高产能。
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公开(公告)号：CN105712045B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201610270892.6
申请日：2016-04-27
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： B65G35/00
摘要： 本发明提供了一种传送设备，该传送设备用于传送基板，该传送设备包括传送通道、悬浮装置和动力装置；所述悬浮装置用于控制基板悬浮在所述传送通道中；所述动力装置用于在所述基板悬浮时对所述基板施加传送动力。本发明提供的传送设备，通过悬浮装置可以使基板在悬浮状态下被传送，从而可以在传送过程中减少基板与其他设备的直接接触，进而能够在传送过程中减少对基板造成的损坏，提高产品的良率。
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公开(公告)号：CN107167936A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710364818.5
申请日：2017-05-22
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种基板传送系统以及基板检测设备和检测方法，所述设备包括：相对平行设置的两个电极；连接于两个电极的电源单元，用于在两个电极上加载交变电压；连接于所述电源单元与任意一个所述电极间的检测单元，用于检测其所接入的电路中的电流值，并根据待检测的基板位于所述两个电极之间时检测到的第一电流值判断所述基板是否破损。本发明可以对基板整体破损状况进行检测，并能避免检测结果受基板洁净度或传感器洁净度影响，从而提高检测结果的准确性。
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公开(公告)号：CN106054543A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610682413.1
申请日：2016-08-17
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7073
摘要： 本发明提供一种对位方法及对位系统，其方法包括：采集步骤，采集各个对位区域的图像；判断步骤，判断所有的图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则根据所有的对位区域进行对位步骤；若否，则进行筛选步骤；筛选步骤，自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的至少一个对位区域进行对位步骤；对位步骤，将基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。本发明提供的对位方法，其可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提高产能。
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公开(公告)号：CN107199188B
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201710438885.7
申请日：2017-06-12
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要： 一种涂布机、涂布系统及涂布机清洁方法。该涂布机包括机台和第一清洁装置。该机台包括工作面，该第一清洁装置配置为能够相对于工作面移动以清除工作面上的异物。该涂布系统包括上述涂布机和检测装置，该检测装置配置为对经上述涂布机涂布光刻胶后的基板进行缺陷检测，并且发送检测结果信号以用于控制所述涂布机的第一清洁装置的移动。该涂布机可实现利用第一清洁装置清洁工作面从而避免人员进入设备进行手动清洁。
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公开(公告)号：CN108449525A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810254021.4
申请日：2018-03-26
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
CPC分类号： H04N17/004 , H04N1/04
摘要： 本发明提出一种自动光学检查中标准图像的获取方法及自动光学检查设备，其中，方法包括：持续获取待检查对象的扫描图像；获取所述扫描图像与当前的标准图像之间的差异；根据所述差异，确定是否更新当前的标准图像；如果需要更新所述当前的标准图像，则利用所述扫描图像更新所述当前的标准图像，得到最终的目标标准图像。通过本方法，能够保证得到的目标标准图像中不存在缺陷，进而能够提高利用目标标准图像进行缺陷检测时的检测效果。
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公开(公告)号：CN108227371A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810004926.6
申请日：2018-01-03
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： G03F1/84
摘要： 本公开提供一种掩模板探伤装置及探伤方法，涉及显示技术领域。该掩模板探伤装置包括：光量接收器，设置于掩模板载物台的一侧并能沿所述掩模板载物台的下方运动，用于接收透过掩模板的光信号；光电转换模块，用于将所述光信号转换为电信号；计算模块，用于将基于待测掩模板经过光电转换而得到的电信号与预设的参考电信号进行对比，以判断对比结果是否超出阈值范围；报警模块，用于在所述对比结果超出所述阈值范围时发出警报。本公开可及时发现掩模板表面的划伤或污染，从而避免产生批量产品的不良，还能提醒工作人员及时查看并清理掩模板表面的异物，从而延长掩模板的使用寿命，同时降低成本并节约产能。
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公开(公告)号：CN108188118A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810002071.3
申请日：2018-01-02
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： B08B9/051
摘要： 本发明涉及一种管路清洁装置，所述管路清洁装置，包括第一行进单元、清洗单元以及为所述第一行进单元和清洗单元提供动力的动力单元，其中所述动力单元与所述第一行进单元活动连接，且所述第一行进单元在所述管路清洁装置的运动方向上与所述动力单元产生相对位移，而带动所述管路清洁装置移动；所述清洁单元清洗单元包括可转动的清洁毛刷。根据本发明的实施例，可以通过清洁毛刷对管路内壁附着在管路内壁的污渍直接清洗，而且通过清洁毛刷来清洁管路内部的污渍，避免了清洗剂对设备内易腐蚀的零部件的损害。此外，本发明的实施例所提供的管路清洁装置可用于清洁长度较长的管路。
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