公开(公告)号：CN113770515B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202111128012.9

申请日：2021-09-26

Applicant: 吉林大学

Inventor： 孙洪波 ,  余峰 ,  田振男 ,  陈岐岱

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/03 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光二次直写重置定向耦合器耦合系数的方法及应用，属于激光加工技术领域，包括玻璃样品的清洁；激光加工光路的搭建及待加工样品的调平；飞秒激光第二次直写器件；首先关闭光闸，并将玻璃样品移动到起始加工位置；然后转动半波片，调节激光功率；最后操控软件直接运行预先写好的加工程序，在耦合区两根波导的加工区域内分别进行二次直写；加工结束后对样品进行抛光，得到与原有波导耦合间距不同的两根新波导；所述加工区域为距离原有波导的中轴线上下0μm‑3μm的区域内。本发明的方法可以实现定向耦合器初始分束比的修复以及重新分配，从而解决利用飞秒激光制备定向耦合器及集成芯片过程中存在的制造误差问题。

公开(公告)号：CN113770515A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202111128012.9

申请日：2021-09-26

Applicant: 吉林大学

Inventor： 孙洪波 ,  余峰 ,  田振男 ,  陈岐岱

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/03 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光二次直写重置定向耦合器耦合系数的方法及应用，属于激光加工技术领域，包括玻璃样品的清洁；激光加工光路的搭建及待加工样品的调平；飞秒激光第二次直写器件；首先关闭光闸，并将玻璃样品移动到起始加工位置；然后转动半波片，调节激光功率；最后操控软件直接运行预先写好的加工程序，在耦合区两根波导的加工区域内分别进行二次直写；加工结束后对样品进行抛光，得到与原有波导耦合间距不同的两根新波导；所述加工区域为距离原有波导的中轴线上下0μm‑3μm的区域内。本发明的方法可以实现定向耦合器初始分束比的修复以及重新分配，从而解决利用飞秒激光制备定向耦合器及集成芯片过程中存在的制造误差问题。