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公开(公告)号：CN116180028A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310220876.6
申请日：2023-03-09
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层及其制备方法，所述涂层包括多层纳米晶金属钽层和多层陶瓷硼化钽层，所述纳米晶金属钽层和所述陶瓷硼化钽层交替设置，不同位置处所述纳米晶金属钽层的厚度和所述陶瓷硼化钽层的厚度不同并形成梯度结构。本发明采用上述的一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层，在磁控溅射方法下通过控制溅射时间调控不同位置处纳米晶金属钽层和陶瓷硼化钽层的占比，实现了在保留传统金属陶瓷复合多层涂层优点的同时克服了其硬度显著下降的缺点，提升了耐磨性。
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公开(公告)号：CN116180028B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202310220876.6
申请日：2023-03-09
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层及其制备方法，所述涂层包括多层纳米晶金属钽层和多层陶瓷硼化钽层，所述纳米晶金属钽层和所述陶瓷硼化钽层交替设置，不同位置处所述纳米晶金属钽层的厚度和所述陶瓷硼化钽层的厚度不同并形成梯度结构。本发明采用上述的一种强韧耐磨的梯度金属陶瓷复合多层涂层，在磁控溅射方法下通过控制溅射时间调控不同位置处纳米晶金属钽层和陶瓷硼化钽层的占比，实现了在保留传统金属陶瓷复合多层涂层优点的同时克服了其硬度显著下降的缺点，提升了耐磨性。
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公开(公告)号：CN118407011A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410758359.9
申请日：2024-06-13
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明公开了一种磁控溅射技术制备复合防护涂层的方法，包括以下步骤：将钛靶靶材安装在靶位上，并连接直流电源；将基片进行切割并清洗；确保镀膜室内清洁、密封；向腔体内通入高纯氩气，开启直流电源，进行钛靶的溅射，到达钛层溅射时间后，关闭直流电源；开启氮气阀门，氮气充满腔体后，开启直流电源，进行溅射，达到氮化钛层溅射时间后，关闭直流电源；上述钛层和氮化钛层的制备过程循环多次得到复合防护涂层。本发明通过磁控溅射技术的溅射时间调节不同位置处金属钛层和陶瓷氮化钛层的厚度，形成梯度结构，不仅保留了传统金属/陶瓷复合多层涂层较高硬度的优点，还克服了其结合力下降的缺陷。
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