公开(公告)号：CN112484902B

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202011477111.3

申请日：2020-12-15

Applicant: 吉林大学

Inventor： 葛文伟 ,  方宇

IPC: G01L9/12

Abstract: 本发明涉及压力传感器领域，具体是一种电容式压力传感器及温漂解决方法，所述电容式压力传感器的温漂解决方法，包括以下步骤：将电容式压力传感器置于待测压环境中，测量电容式压力传感器无施加压力条件下的第一输出电压，由第一输出电压获得无压力条件下的温度值；维持测压环境温度不变，施加设定的压力于电容式压力传感器，测量输出电压稳定时的输出电压值，由温度值和输出电压值获得此温度值时的压强值；本发明的有益效果是：通过所述的温漂解决方法先求出电容介质的温度，再根据温度求出压强，解决了温漂问题，提高了准确性；利用压电陶瓷作为电容介质，不需要考虑电极间抽真空和真空中电极引出问题，也不需要考虑电极间弹性介质的形变能力。

公开(公告)号：CN112484902A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202011477111.3

申请日：2020-12-15

Applicant: 吉林大学

Inventor： 葛文伟 ,  方宇

IPC: G01L9/12

Abstract: 本发明涉及压力传感器领域，具体是一种电容式压力传感器及温漂解决方法，所述电容式压力传感器的温漂解决方法，包括以下步骤：将电容式压力传感器置于待测压环境中，测量电容式压力传感器无施加压力条件下的第一输出电压，由第一输出电压获得无压力条件下的温度值；维持测压环境温度不变，施加设定的压力于电容式压力传感器，测量输出电压稳定时的输出电压值，由温度值和输出电压值获得此温度值时的压强值；本发明的有益效果是：通过所述的温漂解决方法先求出电容介质的温度，再根据温度求出压强，解决了温漂问题，提高了准确性；利用压电陶瓷作为电容介质，不需要考虑电极间抽真空和真空中电极引出问题，也不需要考虑电极间弹性介质的形变能力。