公开(公告)号：CN102586746A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210042541.1

申请日：2012-02-23

申请人： 吉林大学

发明人： 王一丁 ,  曹峰 ,  陈君景 ,  董成军 ,  曹佳佳 ,  付强 ,  揣雅惠 ,  陈晨

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/08

摘要： 本发明涉及一种纳米级红外透明导电膜的制备方法，特别是用于红外窗口的既透明又导电的红外透明导电薄膜的制备方法。本发明选用蓝宝石或硅(111)做为薄膜生长的衬底材料；制备薄膜主要采用高真空磁控溅射工艺；提出共靶溅射的方法，靶材分别选用Cu2O靶和Al2O3靶或Cu靶和Al靶；其是在氮气中于500～600℃下退火3～5小时，使其完成初步化学反应，再继续高温退火3～5小时，退火温度为1000～1200℃，从而使反应完全并结晶。该制备方法可以通过调整两靶功率控制薄膜的组成成分，解决了以往单靶溅射无法精确控制Cu、Al成分比为1∶1而生成多种氧化物的难题，同时采用两步退火方式避免了直接高温退火导致的铜相关氧化物的流失，从而提高了薄膜质量。