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公开(公告)号：CN107841717A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710972538.2
申请日：2017-10-18
申请人： 吉林大学
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0688 , C23C14/165
摘要： 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属-氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法，包括制备复合固体润滑薄膜的步骤，还可以有在制备复合固体润滑薄膜之前在基底上预溅射制备预结合层薄膜的步骤，还可以有在制备预结合层薄膜后、制备复合固体润滑薄膜前制备过渡层薄膜的步骤。本发明解决二硫化钼基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题，提供一种低摩擦系数MoS2基多元复合固体润滑薄膜的制备方法，提供了二硫化钼基薄膜多场合使用的可能性，并延长了薄膜的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107815645A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710972599.9
申请日：2017-10-18
申请人： 吉林大学
CPC分类号： C23C14/352 , C23C14/0688 , C23C14/165 , C23C14/5806
摘要： 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜，由下述原子百分比的成分组成：Cu 2at％～38at％，Al 0～12at％，MoS2余量；制备方法包括以下步骤：在磁控溅射镀膜前，在基底表面预沉积Ti或Al预结合层；金属靶材和MoS2靶材进行磁控溅射，得到低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜。本发明改良了二硫化钼固体润滑膜与金属添加剂结合的成分体系，解决了二硫化钼基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题，提供了二硫化钼基薄膜多场合使用的可能性，并延长了薄膜的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107841717B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201710972538.2
申请日：2017-10-18
申请人： 吉林大学
摘要： 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属‑氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法，包括制备复合固体润滑薄膜的步骤，还可以有在制备复合固体润滑薄膜之前在基底上预溅射制备预结合层薄膜的步骤，还可以有在制备预结合层薄膜后、制备复合固体润滑薄膜前制备过渡层薄膜的步骤。本发明解决MoS2基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题，提供一种低摩擦系数MoS2基复合固体润滑薄膜的制备方法，提供了MoS2基薄膜多场合使用的可能性，并延长了薄膜的使用寿命。
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公开(公告)号：CN107815645B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201710972599.9
申请日：2017-10-18
申请人： 吉林大学
摘要： 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜，由下述原子百分比的成分组成：Cu 2at％～38at％，Al 0～12at％，MoS2余量；制备方法包括以下步骤：在磁控溅射镀膜前，在基底表面预沉积Ti或Al预结合层；金属靶材和MoS2靶材进行磁控溅射，得到低摩擦系数MoS2基金属复合固体润滑膜。本发明改良了二硫化钼固体润滑膜与金属添加剂结合的成分体系，解决了二硫化钼基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题，提供了二硫化钼基薄膜多场合使用的可能性，并延长了薄膜的使用寿命。
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