一种低摩擦系数MoS2基金属-氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN107841717A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201710972538.2

    申请日:2017-10-18

    申请人: 吉林大学

    发明人: 王文权 曹明 刘亮

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/06 C23C14/16

    摘要: 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属-氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法,包括制备复合固体润滑薄膜的步骤,还可以有在制备复合固体润滑薄膜之前在基底上预溅射制备预结合层薄膜的步骤,还可以有在制备预结合层薄膜后、制备复合固体润滑薄膜前制备过渡层薄膜的步骤。本发明解决二硫化钼基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题,提供一种低摩擦系数MoS2基多元复合固体润滑薄膜的制备方法,提供了二硫化钼基薄膜多场合使用的可能性,并延长了薄膜的使用寿命。

    一种TiZrB<base:Sub>2</base:Sub>硬质涂层及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN107012424A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710141355.6

    申请日:2017-03-10

    发明人: 代伟 高翔 王启民

    IPC分类号: C23C14/06 C23C14/35 C23C14/02

    摘要: 本发明属于表面防护技术及相关涂层技术领域,公开了一种TiZrB2硬质涂层及其制备方法和应用。该涂层是以TiB2为主晶相,金属Zr为次晶相,利用双极脉冲磁控溅射技术制备合成。其中TiB2含量为65~95at.%,Zr含量为5~35at.%;所述涂层的基体采用硬质合金、单晶硅、玻璃、高速钢、合金钢或者钛合金,涂层的厚度为1.0~1.3μm。该涂层硬度高达28GPa以上,导电性能良好,同时具有良好的韧性和抗腐蚀、抗烧蚀性能及优异的摩擦、磨损性能,可以广泛应用于刀具、模具、电接触、防护等领域;并且这种方法制备工艺简单,生产周期短,成本低,便于大规模工业化生产。

    一种镨掺杂铌酸钾钠薄膜的制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN105568219A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201511029173.7

    申请日:2015-12-30

    IPC分类号: C23C14/06 G01L1/24

    摘要: 一种镨掺杂铌酸钾钠薄膜的制备方法及其应用,涉及一种铌酸钾钠薄膜的制备方法及其应用。本发明是要解决现有光学式应力传感技术基于监测样品形状的改变而灵敏度有待提高的问题,提出利用镨离子的发光特性监测应力的新方法。方法:一、镨掺杂铌酸钾钠靶材的制备;二、镨掺杂铌酸钾钠薄膜的气相法制备。本发明是要通过监测应力引起的材料发光特性的改变实现应力的高灵敏度传感,解决现有光学式应力传感技术灵敏度低的问题。本发明提出的薄膜沉积方法操作简单,可在不同种类衬底上实现镨掺杂铌酸钾钠薄膜的制备,利于规模化生产。本发明用于制备镨掺杂铌酸钾钠薄膜。