公开(公告)号：CN102021649A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010603983.X

申请日：2010-12-24

Applicant: 吉林大学

Inventor： 李红东 ,  苏颖 ,  吕宪义 ,  王启亮 ,  成绍恒

IPC: C30B25/02 ,  C30B25/20 ,  C30B29/04

Abstract: 本发明的利用添加N2O气体化学气相沉积金刚石单晶的方法属金刚石单晶材料及其制备方法的技术领域。采用微波等离子体化学气相沉积系统，将单晶金刚石基底经抛光超声清洗处理后置于样品托放在沉积室内，向沉积室内充入氢气、甲烷和笑气，流量比为H2∶CH4∶N2O＝750∶75～90∶2～10，在微波功率2～2.5kw、基底温度900～1100℃，气压13～40kPa下生长金刚石单晶。本发明具有方法简单，生长速度快，质量好，成本低，污染小等优点，在N2O浓度的增加对全球气候增温效应越来越显著情况下，既利用废气节能减排，又促进了金刚石的生产。

公开(公告)号：CN102021649B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN201010603983.X

申请日：2010-12-24

Applicant: 吉林大学

Inventor： 李红东 ,  苏颖 ,  吕宪义 ,  王启亮 ,  成绍恒

IPC: C30B25/02 ,  C30B25/20 ,  C30B29/04

Abstract: 本发明的利用添加N2O气体化学气相沉积金刚石单晶的方法属金刚石单晶材料及其制备方法的技术领域。采用微波等离子体化学气相沉积系统，将单晶金刚石基底经抛光超声清洗处理后置于样品托放在沉积室内，向沉积室内充入氢气、甲烷和笑气，流量比为H2∶CH4∶N2O＝750∶75～90∶2～10，在微波功率2～2.5kw、基底温度900～1100℃，气压13～40kPa下生长金刚石单晶。本发明具有方法简单，生长速度快，质量好，成本低，污染小等优点，在N2O浓度的增加对全球气候增温效应越来越显著情况下，既利用废气节能减排，又促进了金刚石的生产。