一种光学透明的非易失性晶体管存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114203908A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202111502818.X

    申请日:2021-12-10

    Applicant: 吉林大学

    Inventor: 王伟 齐伟皓

    Abstract: 本发明公开了一种光学透明的非易失性晶体管存储器及其制备方法,属于存储器的技术领域;该存储器为顶栅结构,从下到上依次包括衬底、源‑漏电极、聚合物半导体层、铁电栅绝缘层及栅电极;其中衬底、源‑漏电极、聚合物半导体层、铁电栅绝缘层及栅电极均为光学透明的材质,聚合物半导体层、铁电栅绝缘层及栅电极均由溶液法制备得到;该存储器在暗室和光照环境下测试的电学特性展现了很好的可重复性,表明其具有良好的光学稳定性、显著的信息存储功能、良好的工作可靠性及稳定性;该存储器的整个制备工序采用全溶液法工艺制备、加工温度低于150℃,具有工艺简单、工序连续性好、可低温制备、制备设备廉价、且制备成本低,能极大地增大其商业竞争力。

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