公开(公告)号：CN117091532A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202311079210.X

申请日：2023-08-25

申请人： 同济大学

发明人： 王占山 ,  盛鹏峰 ,  余俊 ,  顾维宸 ,  王一凡

IPC分类号： G01B11/24

摘要： 本发明涉及非球面测量技术领域，且公开了一种非球面高精度干涉仪绝对测量装置及方法，测量装置包括待测镜片、补偿镜、标准反射镜，待测镜片设置在支撑架上，支撑架设置在六维调整架上，六维调整架从上到下依次包括旋转台、偏摆台、俯仰台、水平位移台、前后位移台、高度位移台，待测镜片上贴设有标记物。测量方法包括利用反射式补偿镜，形成折叠型测量光路，以及利用标记物获得镜片相对旋转位置的绝对检测方法。本发明采用上述非球面高精度干涉仪绝对测量装置及方法，利用反射镜进行测量，缩短测量光路长度，利用标记物从结果中计算镜片相对位置，免除对高精度镜片位移平台的需求，避免高精度重复定位，降低测量的成本，提高测量的效率。

公开(公告)号：CN118482633A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410762899.4

申请日：2024-06-13

申请人： 同济大学

发明人： 余俊 ,  王占山 ,  盛鹏峰 ,  顾维宸 ,  张嵬

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/255 ,  G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种精确定位Hindle检测光路中凸非球面的装置与检测方法，属于光学测试与光学装调技术领域，该装置包括设置在三维位移台上的用于装配凸非球面的辅助定位装置、Hindle球面镜、干涉仪，辅助定位装置的截面为“凸”字形结构，辅助定位装置的凸出侧设置有安装定位面，辅助定位装置的平面侧中心位置处设置有装调基准球面和基准球面，辅助定位装置的平面侧的最外圈设置有多个顶拉螺钉孔。本发明通过超精密车削加工带有安装定位面和基准球面的辅助定位装置，利用干涉仪检测标定焦面，实现装调，该装置便于凸非球面研制过程中的快速、精确检测，保证测试凸非球面的曲率半径和非球面系数的准确性，且在检测过程中具有实时定位和高效率等优点。