公开(公告)号：CN103702927A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201280023390.3

申请日：2012-03-14

Applicant: 哈佛大学校长及研究员协会

Inventor： C.J.鲁索 ,  J.A.戈洛夫钦科 ,  D.布兰顿

IPC: B81C1/00 ,  G01N33/487

CPC classification number: B81B1/002 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00087 ,  G01N33/48721

Abstract: 在纳米材料中形成纳米孔的方法，在纳米材料的侧边缘内部的位置上如下来形成纳米孔成核位置：将选自离子束和中性原子束的第一能量束引导到该内部位置持续第一持续时间，其施加了第一束剂量，这导致从该内部位置上除去不超过5个内部原子以在该内部位置处产生具有多个边缘原子的纳米孔成核位置。然后通过将选自电子束、离子束和中性原子束的第二能量束引导到该纳米孔成核位置来在该纳米孔成核位置上形成纳米孔，该第二能量束具有除去该纳米孔成核位置上的边缘原子但是不从该纳米材料中除去体原子的束能量。

公开(公告)号：CN103702927B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280023390.3

申请日：2012-03-14

Applicant: 哈佛大学校长及研究员协会

Inventor： C.J.鲁索 ,  J.A.戈洛夫钦科 ,  D.布兰顿

IPC: B81C1/00 ,  G01N33/487

CPC classification number: B81B1/002 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00087 ,  G01N33/48721

Abstract: 在纳米材料中形成纳米孔的方法，在纳米材料的侧边缘内部的位置上如下来形成纳米孔成核位置：将选自离子束和中性原子束的第一能量束引导到该内部位置持续第一持续时间，其施加了第一束剂量，这导致从该内部位置上除去不超过5个内部原子以在该内部位置处产生具有多个边缘原子的纳米孔成核位置。然后通过将选自电子束、离子束和中性原子束的第二能量束引导到该纳米孔成核位置来在该纳米孔成核位置上形成纳米孔，该第二能量束具有除去该纳米孔成核位置上的边缘原子但是不从该纳米材料中除去体原子的束能量。