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公开(公告)号：CN111239992A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010058988.2
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
IPC: G02B21/00 , G02B21/06 , G02B21/36 , G01N21/552 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于环形阵列光源照明的超分辨率全内反射显微成像装置及方法，其中装置包括：环形LED阵列、环形挡光板、圆锥反射镜、圆锥透镜、物镜、管镜和图像采集模块，环形LED阵列中的单个LED灯所发出的发散光束，经过环形挡光板遮挡，产生的光束入射到圆锥反射镜上，圆锥反射镜反射光束进入圆锥透镜，并在其与样品交界面产生倏逝场；样品经过倏逝场照明后所产生的散射光依次通过物镜和管镜后被图像采集模块接收。本发明提供的基于环形阵列光源照明的超分辨率全内反射显微成像装置及方法，不需要荧光标记即可实现超分辨成像。
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公开(公告)号：CN111123495A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010058986.3
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于环形阵列光源照明的三维全内反射显微成像装置及方法，其中装置包括：环形LED阵列、圆锥透镜、物镜、管镜和图像采集模块；圆锥透镜上放置有样品；环形LED阵列包括M个半径不同的单层环形LED阵列；圆锥透镜的侧表面由M个倾斜角度不同的圆台侧表面组成；每层环形LED阵列中的单个LED灯依次发出照明光束，并进入圆锥透镜，在圆锥透镜与样品交界面产生倏逝场；样品经过倏逝场照明后所产生的散射光依次通过物镜和管镜后被图像采集模块接收。本发明提供的基于环形阵列光源照明的三维全内反射显微成像装置及方法，不需要荧光标记即可实现超分辨成像。
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公开(公告)号：CN117517333A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311423506.9
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。本发明通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；本发明使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强。
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公开(公告)号：CN111239153B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202010056473.9
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法，其装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品反射信号与散射信号，获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；通过差动共焦探测，提高了测量系统轴向的灵敏度、线性和信噪比，可显著抑制环境状态差异、光源光强波动和探测器电气漂移等引起的共模噪声。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111239155B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202010059128.0
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法，该装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品反射信号与散射信号，获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；通过差动共焦探测，提高了测量系统轴向的灵敏度、线性和信噪比，可显著抑制环境状态差异、光源光强波动、探测器电气漂移等引起的共模噪声。
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公开(公告)号：CN117517333B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202311423506.9
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测技术领域。解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题。包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。本发明通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；本发明使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强。
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公开(公告)号：CN114383533B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202210031996.7
申请日：2022-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像PR和下表面准焦散射图像PS。基于深沟槽暗场共焦显微成像模型计算沟槽下表面准焦强度像中沟槽边缘位置的归一化光强值IE，根据实际测量得到的下表面准焦反射图像PR以及光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps，通过高斯拟合沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的最终测量值。为暗场共焦显微镜提供一种更为准确合理的沟槽宽度定值方法。
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公开(公告)号：CN116222937A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310241111.0
申请日：2023-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种原位测量系统的振动测量系统及测量方法，方法包括采集原位测量系统测头的加速度信号和被测物工装的加速度信号；对原位测量系统测头的加速度信号和被测物工装的加速度信号进行放大；对放大后的加速度信号进行积分，对应得到原位测量系统测头的位移时变数据和被测物工装的位移时变数据；对原位测量系统测头的位移时变数据和被测物工装的位移时变数据进行叠加，得到原位测量系统对被测物工装的振动数据。本发明可以实现对原位测量系统在原位测量过程中的振动数据采集，为原位测量振动模态分析、原位测量振动补偿等提供数据支撑，提高原位测量系统测量精度。
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公开(公告)号：CN111239993B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202010059141.6
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
IPC: G02B21/00 , G02B21/06 , G02B21/36 , G01N21/552 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于极性散射的超分辨全内反射显微成像装置及方法，该装置包括偏振照明模块、光束扫描模块和检偏探测模块，偏振照明模块、光束扫描模块和检偏探测模块沿光线传播方向依次布置；偏振照明模块沿光线传播方向依次设有激光器、第一偏振片以及四分之一玻片；光束扫描模块沿光线传播方向依次设有二维扫描振镜、扫描透镜、第一管镜、圆锥反射镜以及圆锥透镜；检偏探测模块沿光线传播方向依次设有物镜、第二偏振片、第二管镜以及相机。该装置以及方法不需要荧光染色即可实现超分辨成像，可以更加真实观测样品动态，无类似荧光成像的漂白特性，可以长时间成像，无需标记即可超分辨，根据不同阶数m可得到m倍分辨率提升。
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