公开(公告)号：CN103018485A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210511274.8

申请日：2012-12-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘晓为 ,  徐宏林 ,  尹亮 ,  吕炳均 ,  付强 ,  李拓 ,  王庆一 ,  李强

IPC: G01P15/08

Abstract: Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。

公开(公告)号：CN103018485B

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN201210511274.8

申请日：2012-12-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘晓为 ,  徐宏林 ,  尹亮 ,  吕炳均 ,  付强 ,  李拓 ,  王庆一 ,  李强

IPC: G01P15/08

Abstract: Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。