公开(公告)号：CN115329625A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202210859879.X

申请日：2022-07-21

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 裘俊 ,  岳童童 ,  王纪昌 ,  赵军明 ,  刘林华

IPC: G06F30/23 ,  G06F30/25 ,  G06F111/06 ,  G06F113/26

Abstract: 光学薄膜材料光学常数反演优化方法及装置、半透明光学薄膜材料光学常数检测方法及装置，涉及光学性质领域。针对现有技术中存在的，致采用椭偏测量无法得到半透明光学薄膜的光学常数的问题，本发明提供的技术方案为：光学薄膜材料光学常数检测方法，包括：步骤1：采集伪光学常数；步骤2：采集搜索范围内参数的初值，作为迭代参数；步骤3：采集迭代参数对应的入射偏振光波长和角度；步骤4：根据迭代参数和的波长和角度获得椭偏参数；步骤5：根据椭偏参数计算当前迭代参数的适应度；步骤6：判断适应度是否满足预设条件，满足则输出当前迭代参数作为结果，不满足则返回并依次执行步骤2至步骤6。适合应用于探索半透明光学薄膜的光学常数。