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公开(公告)号：CN102495530A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110377902.3
申请日：2011-11-12
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，在基台边缘分别设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，在基台中间设置有2个过梁式直线运动单元，其底面高于工件台工作面；两个硅片台将基台表面作为气浮支撑和导向面；Y方向直线运动单元通过沿X方向直线运动单元可以实现沿X方向运动，并通过其自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X或Y方向的运动；本发明采用一体化设计，省掉双台交换系统在交换过程中的抓卡和换卡运动节拍，整个交换过程仅有三个节拍，显著缩短交换过程所需时间，明显提高生产效率。
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公开(公告)号：CN102495529A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110377867.5
申请日：2011-11-12
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 一种过梁式双导轨双驱步进扫描双硅片台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元，Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；且本本发明整个过程只有三个节拍，可缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。
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公开(公告)号：CN102393609A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110377845.9
申请日：2011-11-12
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元；Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服因转矩干扰引起的运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；换台过程仅有三个节拍，缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。
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公开(公告)号：CN116295987B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310076566.1
申请日：2023-01-29
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01L1/25
摘要： 本发明公开了一种基于空气耦合超声的高空间分辨率应力动态测量方法。当接收空耦换能器与空耦换能器在待测试样的射入及接收之间的距离为L时，记录待测试样进行一个周期的周期运动的运动位置及当下位置的接收回波信号F(x)；将F(x)与无应力状态下相比得到声时差，在根据声时差计算得到每个运动位置下对应的L传播距离的平均应力值；当距离为L+ΔL时，记录待测试样进行一个周期的周期运动的运动位置及当下位置的接收回波信号F1(x)；将F1(x)与其无应力状态下相比得到声时差，在根据声时差计算得到每个运动位置下对应的L+ΔL传播距离的平均应力值；每个运动位置下对应的ΔL位置的应力值即为两者之差。用以解决传统超声应力测量中空间分辨率与测量精度的矛盾关系及耦合剂对测量的影响问题。
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公开(公告)号：CN112137721B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202010507014.8
申请日：2020-06-05
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于超声图像的穿刺针针尖与血管壁深度定位方法，属于智能医疗器械技术领域，本发明具体步骤包括：通过对静脉穿刺部位的血管皮下超声图像选取图像上方区域作为感兴趣区域进行去噪、自适应阈值二值化、图像形态学开运算、闭运算、血管壁轮廓提取和扫描提取血管腔内区域穿刺针轮廓，计算得到血管壁皮下深度、医用穿刺针深度和穿刺角度。本发明能有效识别和探测血管壁皮下深度、追踪和探测医用穿刺针针尖的深度和穿刺角度，根据穿刺针针尖的实际深度和针穿刺角度，解算穿刺针推进距离，应用在智能采血或输液机器人、智能手术机器人等领域能提高静脉穿刺的准确性、安全性和可靠性。
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公开(公告)号：CN102393609B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201110377845.9
申请日：2011-11-12
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元；Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服因转矩干扰引起的运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；换台过程仅有三个节拍，缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。
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公开(公告)号：CN117268618A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311253578.3
申请日：2023-09-27
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01L5/24
摘要： 本发明涉及一种用于横纵波螺栓应力检测的双探头装置及其检测方法，属于超声无损检测设备技术领域。解决横纵波双探头应力检测在实际使用过程中，难以保证双探头定位精度和与待测螺栓之间压力恒定的问题。包括外壳、纵波探头预紧力调节件、横波探头预紧力调节件、第一弹簧、第二弹簧、纵波探头、横波探头、底座和磁铁，外壳内设置顺次布置的纵波探头预紧力调节件、第一弹簧、纵波探头，外壳内还设置顺次布置的横波探头预紧力调节件、第二弹簧、横波探头，外壳与底座可拆卸连接，纵波探头、横波探头的检测端伸入底座。发明能够很好地固定横纵波双探头位置，保证应力测量精度；本发明使用调节方便，且能够保持与待测螺栓之间压力恒定。
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公开(公告)号：CN116757106A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310575388.7
申请日：2023-05-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G06F30/28 , G06F17/11 , G06F17/16 , G06F119/14 , G06F113/08 , G06F113/24
摘要： 本发明公开了一种宏微跨尺度流固耦合计算方法及系统，其中，该方法包括：在流体域上，采用雷诺方程或ansys预先获取单个正压单元或负压单元的气膜的力随气膜厚度变化的函数曲线；在结构域上，根据函数曲线与结构动力学方程建立气浮运输理论模型，并采用模态叠加法对气浮运输理论模型进行求解，获得薄板变形。由此，该方法解决了现有技术不适用于不同的气浮平台的宏微跨尺度流固耦合计算的技术问题，以及现有商用软件的双向强流固耦合计算耗费资源庞大且收敛难度大的技术问题，能较好地模拟气浮平台的特性，从而普遍适用于优化不同的气浮平台。
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公开(公告)号：CN113511517B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110549124.5
申请日：2021-05-20
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B65G51/03
摘要： 本发明涉及一种气浮运输过渡的方法，属于运输方法技术领域，包括以下步骤:设定系统压力，获取高速气浮板的横向间隙、以及高速气浮板和精密气浮板之间的距离值；根据系统压力、薄型柔性物体的厚度、横向间隙、高速气浮板和精密气浮板之间的距离值，获取薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、以及获取薄型柔性物体在精密气浮板上时的气膜厚度；根据薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、薄型柔性物体在精密气浮板上时的气膜厚度，计算高速气浮板和精密气浮板的高度差值；基于高度差值调节高速气浮板和/或精密气浮板的高度。利用不同气浮区域气膜厚度的差异，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。
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公开(公告)号：CN113708662A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110987091.2
申请日：2021-08-26
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种两自由度压电驱动平台及其设计方法。所述两自由度压电驱动平台包括支链l1、支链l2和支链l3，所述支链l1的A1处与定平台(1)固定连接，所述支链l1的B1处通过球副S1与动平台(2)相连接，所述支链l2的A2处通过虎克铰U与定平台(1)相连，所述支链l2的B2处通过球副S2与动平台(2)相连，所述支链l3的A3处通过转动副R与定平台(1)连接，所述支链l3的B3处通过球副S3与动平台(2)相连接，所述支链l3的中间套接移动副P。本发明解决了传统电磁式电机、液压驱动的弊端以及目前并联机构定位精度欠佳、体积减小困难等问题，该机构具有小体积、高动态、大行程、高精度的特点。
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