公开(公告)号：CN108149210B

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201711434621.0

申请日：2017-12-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱嘉琦 ,  杨振怀 ,  杨磊 ,  代兵 ,  高岗 ,  王鹏 ,  郭帅 ,  耿芳娟

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08

Abstract: 一种长波红外增透保护膜的制备方法，本发明涉及增透保护膜的制备方法。本发明要解决现有红外探测系统窗口材料增透保护膜或存在服役过程中出现严重的性能退化现象，导致薄膜光学性能的下降，或存在增透保护膜与基底附着性差，需要沉积过渡层，增加了工艺的复杂性，或存在增透保护膜硬度较低的问题。方法：一、靶材和窗口的清洗；二、镀膜前准备工作；三、采用反应溅射的方式制备Gd2O3薄膜；四、结束关机；五、双面镀膜，即完成一种长波红外增透保护膜的制备方法。本发明用于长波红外增透保护膜的制备方法。

公开(公告)号：CN108149210A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711434621.0

申请日：2017-12-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱嘉琦 ,  杨振怀 ,  杨磊 ,  代兵 ,  高岗 ,  王鹏 ,  郭帅 ,  耿芳娟

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08

Abstract: 一种长波红外增透保护膜的制备方法，本发明涉及增透保护膜的制备方法。本发明要解决现有红外探测系统窗口材料增透保护膜或存在服役过程中出现严重的性能退化现象，导致薄膜光学性能的下降，或存在增透保护膜与基底附着性差，需要沉积过渡层，增加了工艺的复杂性，或存在增透保护膜硬度较低的问题。方法：一、靶材和窗口的清洗；二、镀膜前准备工作；三、采用反应溅射的方式制备Gd2O3薄膜；四、结束关机；五、双面镀膜，即完成一种长波红外增透保护膜的制备方法。本发明用于长波红外增透保护膜的制备方法。