公开(公告)号：CN107748171B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201711009854.6

申请日：2017-10-25

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 张勇 ,  梁斌 ,  侯宁 ,  胡旷南

IPC分类号： G01N23/207

摘要： 用于消除光学晶体超精密加工亚表面损伤检测样品安装误差的方法，本发明涉及用于消除光学晶体亚表面损伤检测样品安装误差的方法。本发明为了解决光学晶体超精密加工亚表面损伤无损检测中存在样品安装误差问题。本发明包括：一：安装被检测光学晶体；二：调整X射线源初始位置；三：使X射线与被检测光学晶体表面之间形成实际入射角ω′并固定；四：进行检测；五：得到不同实际入射角ω′条件下X射线与检测表面和亚表面晶体结构发生衍射的特征谱线信息；六：计算样品安装角度误差δ；七：根据得到的δ修正实际入射角ω′，消除光学晶体超精密加工亚表面损伤检测过程中由于样品安装造成的误差。本发明用于光学晶体表面损伤检测领域。

公开(公告)号：CN107817256A

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201711009856.5

申请日：2017-10-25

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 张勇 ,  侯宁 ,  梁斌 ,  胡旷南

IPC分类号： G01N23/20

摘要： 一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法，本发明涉及超精密加工亚表面损伤的无损检测方法。本发明的目的是为了解决现有技术主要是基于某一特定的亚表面损伤形式或对某一微小截面区域的亚表面损伤形式进行检测，检测过程往往具有破坏性，其检测结果不能全面准确地反映实际加工过程中光学晶体材料的亚表面损伤形式的问题。过程为：一、将被检测光学晶体置于可移动工作台上；二、使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面平行；三、使X射线与晶体表面形成一定夹角；四、得到X射线与晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息；五、重复三、四，完成对光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测。本发明用于无损检测领域。

公开(公告)号：CN107748171A

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：CN201711009854.6

申请日：2017-10-25

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 张勇 ,  梁斌 ,  侯宁 ,  胡旷南

IPC分类号： G01N23/207

摘要： 用于消除光学晶体超精密加工亚表面损伤检测样品安装误差的方法，本发明涉及用于消除光学晶体亚表面损伤检测样品安装误差的方法。本发明为了解决光学晶体超精密加工亚表面损伤无损检测中存在样品安装误差问题。本发明包括：一：安装被检测光学晶体；二：调整X射线源初始位置；三：使X射线与被检测光学晶体表面之间形成实际入射角ω′并固定；四：进行检测；五：得到不同实际入射角ω′条件下X射线与检测表面和亚表面晶体结构发生衍射的特征谱线信息；六：计算样品安装角度误差δ；七：根据得到的δ修正实际入射角ω′，消除光学晶体超精密加工亚表面损伤检测过程中由于样品安装造成的误差。本发明用于光学晶体表面损伤检测领域。