公开(公告)号：CN109786494B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201711119912.0

申请日：2017-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈洪宇 ,  苏龙兴 ,  胡平安 ,  李炳生

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/036 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种微腔结构紫外探测器及其制备方法，其中紫外探测器的制备过程包括衬底清洗、籽晶层生长、微米线生长、单根宽禁带半导体微/纳米线上下两侧金属薄膜、金属纳米粒子的制备以及探测器金属电极层的制备工艺。本发明的特点是新开发了一种特殊结构的高性能、小体积的紫外探测器，其探测截止波长小于380nm，解决了紫外探测器尺寸的减小和光电转的提高难以同时实现的矛盾问题。此外，此种微腔结构紫外探测器结构简单、易于耦合焦平面读出电路，有益于下一代高密度集成光电回路的开发。

公开(公告)号：CN109786494A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201711119912.0

申请日：2017-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈洪宇 ,  苏龙兴 ,  胡平安 ,  李炳生

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/036 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种新型微腔结构紫外探测器及其制备方法，其中紫外探测器的制备过程包括衬底清洗、籽晶层生长、微米线生长、单根微米线上下两侧金属薄膜、金属纳米结构的制备以及探测器金属电极的制备工艺。本发明的特点是新开发了一种新结构的高性能、小体积的紫外探测器，其探测截止波长小于380nm，解决了紫外探测器尺寸的减小和光电转的提高难以同时实现的矛盾问题。此外，此种新型微腔结构紫外探测器结构简单、易于耦合焦平面读出电路，有益于下一代高密度集成光电回路的开发。