公开(公告)号：CN109930106A

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201910379626.0

申请日：2019-05-08

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 王浪平 ,  赵凡 ,  王小峰

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54

摘要： 一种具有高耐磨损能力的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层的制备方法，涉及一种TiAlSiN涂层的制备方法。本发明是要解决现有的TiAlSiN涂层的耐磨性差的技术问题。本发明提出的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层的制备方法，使用TiAlSi合金阴极靶材，通过改变通入的氮气来实现涂层成分的改变，从而制备多层交替涂层，提高涂层的工业应用性。由于TiAlSi合金的硬度较低，TiAlSiN涂层硬度较高，使用该种方法制备得到的软硬交替涂层，可以很好地缓解涂层应力，改善涂层塑韧性，提高涂层的耐磨性，对于提高刀具涂层的使用寿命具有重大意义。

公开(公告)号：CN109930106B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201910379626.0

申请日：2019-05-08

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 王浪平 ,  赵凡 ,  王小峰

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54

摘要： 一种具有高耐磨损能力的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层的制备方法，涉及一种TiAlSiN涂层的制备方法。本发明是要解决现有的TiAlSiN涂层的耐磨性差的技术问题。本发明提出的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层的制备方法，使用TiAlSi合金阴极靶材，通过改变通入的氮气来实现涂层成分的改变，从而制备多层交替涂层，提高涂层的工业应用性。由于TiAlSi合金的硬度较低，TiAlSiN涂层硬度较高，使用该种方法制备得到的软硬交替涂层，可以很好地缓解涂层应力，改善涂层塑韧性，提高涂层的耐磨性，对于提高刀具涂层的使用寿命具有重大意义。