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公开(公告)号：CN120018767A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510166303.9
申请日：2025-02-14
Applicant: 青岛哈尔滨工程大学创新发展中心
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米激光直写曝光制备纳米线约瑟夫森结的方法，属于微纳米加工技术领域，在基底上沉积超导材料薄膜，在所述超导材料薄膜上均匀旋涂光刻胶，通过光刻曝光、显影，得到含有微桥和电极的光刻胶图案，通过首次刻蚀将所述光刻胶上的图案转移到所述超导材料薄膜上，形成微桥和电极结构，超声清洗，去除残留的光刻胶，在所述超导材料薄膜的图案上再次旋涂光刻胶，通过纳米激光直写光刻对覆盖在超导材料薄膜上的光刻胶进行再次曝光和再次显影，结合激光收缩控制对微桥进行微加工，最后通过再次刻蚀，将纳米线图案从光刻胶结构中转移到超导材料薄膜，形成纳米线约瑟夫森结。本发明通过纳米激光直写技术结合激光收缩控制，实现了纳米线约瑟夫森结的高精度制备。利用激光收缩控制技术，在微桥区域的两侧进行精确的纳米级激光直写，逐步收缩行程中间的纳米线结构。这一过程确保了纳米线的几何尺寸能够精确受控，从而满足特定器件设计需求。激光收缩的应用极大提高了纳米线形态的均匀性和一致性，避免了传统工艺中可能出现的尺寸偏差和不稳定性问题。
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公开(公告)号：CN117572030A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311325409.6
申请日：2023-10-13
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明属于量子磁成像、精密量子测量技术领域，具体涉及一种基于高温超导材料MgB2的扫描针尖SQUID显微镜及其制备方法。本发明使用脉冲激光沉积(PLD)方式在SiO2石英细管上生长具有更高转变温度的MgB2超导材料，进而制备出基于高温超导材料MgB2的扫描针尖SQUID显微镜。相比传统的扫描针尖超导SQUID显微镜工作温度需要小于6K，本发明提供的基于高温超导材料MgB2的扫描针尖SQUID显微镜的工作温度提高到小于30K。
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公开(公告)号：CN117572027A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311325470.0
申请日：2023-10-13
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 本发明涉及一种基于高温超导材料YBaCuO7‑x的悬臂梁结构SQUID显微镜及其制备方法，属于超导弱电应用的关键核心技术，涉及到量子磁成像、精密量子测量、高温超导等技术领域。本发明使用高温超导材料YBCO制备SOL扫描显微镜，使针尖SQUID扫描显微镜的工作温度提升到了77K，相比较传统的扫描针尖超导SQUID显微镜工作温度通常在6K以下，本发明突破了对超导相图探索的限制。
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公开(公告)号：CN108982913B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201811022293.8
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种共光路结构的微型光纤非本征型迈克尔逊加速度传感器，由加速度传感装置、传感器支撑结构、传感器基座、第一增反膜、第二增反膜、玻璃套管、光纤准直透镜、光纤套筒、单模光纤组成，所述加速度传感装置固定在传感器支撑结构上，所述传感器支撑结构固定在所述传感器基座的上表面，传感器支撑结构和传感器基座的外径相同，传感器支撑结构和传感器基座内部中间区域均有一个圆形的通孔。本发明通过采用共光路结构，可以在不使用法拉第旋光镜的条件下避免偏振衰落造成的传感器信号衰落，从而保证了探测结果的稳定性；有效的降低传感器的加工成本和尺寸。
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公开(公告)号：CN109374109B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201811017322.1
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种共光路结构的微型光纤非本征型迈克尔逊声压传感器，由声压敏感膜片、膜片支撑结构、传感器基座、第一增反膜、第二增反膜、玻璃套管、光纤准直透镜、光纤套筒、单模光纤组成，所述声压敏感膜片固定在膜片支撑结构上，所述膜片支撑结构固定在所述传感器基座的上表面，膜片支撑结构和传感器基座的外径相同，膜片支撑结构和传感器基座内部中间区域均有一个圆形的通孔，膜片支撑结构的通孔直径大于传感器基座的通孔直径。本发明通过采用共光路结构，可以在不使用法拉第旋光镜的条件下避免偏振衰落造成的传感器信号衰落，从而保证了探测结果的稳定性，具有良好的加工一致性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109374109A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811017322.1
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种共光路结构的微型光纤非本征型迈克尔逊声压传感器，由声压敏感膜片、膜片支撑结构、传感器基座、第一增反膜、第二增反膜、玻璃套管、光纤准直透镜、光纤套筒、单模光纤组成，所述声压敏感膜片固定在膜片支撑结构上，所述膜片支撑结构固定在所述传感器基座的上表面，膜片支撑结构和传感器基座的外径相同，膜片支撑结构和传感器基座内部中间区域均有一个圆形的通孔，膜片支撑结构的通孔直径大于传感器基座的通孔直径。本发明通过采用共光路结构，可以在不使用法拉第旋光镜的条件下避免偏振衰落造成的传感器信号衰落，从而保证了探测结果的稳定性，具有良好的加工一致性。
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公开(公告)号：CN109655635A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811017336.3
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及基于迈克尔逊干涉仪的微型偏轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计，由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、光纤尾纤、第一在线型法拉第旋光器、第一光纤信号臂、光耦合器、第二光纤信号臂、第二在线型法拉第旋光器、第二传感器支撑结构组成，所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间，第一光纤信号臂通过第一在线型法拉第旋光器与光纤尾纤相连接；本发明通过在信号臂中插入在线型法拉第旋光器可以消除偏振衰落的影响，从而提高测量结果的稳定性，通过采用差动结构，能有效消除探头的共模噪声，并提高传感器的测量灵敏度。
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公开(公告)号：CN109298207A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811017214.4
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种微型同轴差动式光纤迈克尔逊非本征型加速度计，由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、第一在线型法拉第旋光器、第一光纤信号臂、光耦合器、第二光纤信号臂、第二在线型法拉第旋光器、第二传感器支撑结构组成，所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间，第一光纤信号臂的末端垂直插入第一传感器支撑结构中间的通孔中。本发明通过在信号臂中插入在线型法拉第旋光器可以消除偏振衰落的影响，从而提高测量结果的稳定性；可以通过改变信号臂光纤的长度差从而增加传感器的解调方案的适用范围；通过采用差动结构，能有效消除探头的共模噪声，并提高传感器的测量灵敏度。
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公开(公告)号：CN108982912A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811017225.2
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种微型差动式偏轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计，由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、第一光纤尾纤、第一增透膜、第一在线型法拉第旋光器、第一光纤信号臂、光耦合器、第二光纤信号臂、第二在线型法拉第旋光器、第二光纤尾纤、第二增透膜、第二传感器支撑结构组成，所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间，第一光纤信号臂通过第一在线型法拉第旋光器与第一光纤尾纤相连接。本发明采用微机电加工工艺实现传感器探头结构和加速度传感结构的加工。由于光纤的固定通孔、质量块运动行程限位装置等均集成在传感器支撑结构上，有效提升传感器的集成化、小型化和稳定性。
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公开(公告)号：CN108982914A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811028744.9
申请日：2018-09-01
Applicant: 哈尔滨工程大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明属于纤传感技术领域，具体涉及一种微型同轴光纤迈克尔逊非本征型加速度计，由加速度传感结构、第一传感器支撑结构、在线型法拉第旋光器、光纤信号臂、光耦合器、光纤参考臂、法拉第旋光镜、第二传感器支撑结构组成，所述加速度传感结构封装在第一传感器支撑结构和第二传感器支撑结构之间，所述光纤信号臂的末端垂直插入第一传感器支撑结构中间的通孔中，所述在线型法拉第旋光器串在光纤信号臂上，所述法拉第旋光镜位于光纤参考臂的末端，光纤信号臂和光纤参考臂并联在一起后与光耦合器连接在一起。本发明在信号臂中插入在线型法拉第旋光器可以消除偏振衰落的影响，提高了测量结果的稳定性，消除探头的共模噪声，提高传感器的测量灵敏度。
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