一种温-压动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器

    公开(公告)号:CN118408596A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410497882.0

    申请日:2024-04-24

    IPC分类号: G01D21/02 B81B7/02

    摘要: 一种温‑压动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器,涉及光纤传感技术领域,解决高温环境与复杂流场等恶劣环境下传感器多参数实时测量问题,而提供的一种温‑压双参数动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器。传感器包括单模光纤、空腔和蓝宝石膜片;所述蓝宝石膜片上刻蚀有二维光子晶体阵列微结构,用于实现GMR反射镜;所述单模光纤用于将光线通过所述空腔射入所述二维光子晶体阵列微结构上;所述二维光子晶体阵列微结构用于将光线反射。本发明适用于高温复杂流体的物理量监测。

    基于奥米亚棕蝇的非本征型光纤FP仿生传感器及加工方法

    公开(公告)号:CN118225228A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410349263.7

    申请日:2024-03-26

    IPC分类号: G01H9/00

    摘要: 一种基于奥米亚棕蝇的非本征型光纤FP仿生传感器及加工方法,涉及光纤传感技术领域,传感器包括仿生膜片、金属外壳和光纤,所述金属外壳为底面厚侧面薄结构,所述金属外壳任一侧面上设有凹槽,所述膜片固定在所述凹槽中;在所述金属外壳内插入两根光纤,所述光纤的端面与所述膜片构成珐珀腔;膜片包括硅基基座和两个基于奥米亚棕蝇的仿生振膜,所述仿生振膜与所述硅基底座中间有空气缝隙,所述仿生振膜上各设有一个光子晶体结构,所述光子晶体结构由阵列设置的规则二维小孔组成;该传感器采用带孔式的光纤仿生MEMS膜片,并在膜片上形成二维等间隔的孔状结构制造出光子晶体效应,不仅可以减小噪声、提高灵敏度,还可以提高传感器的耐久性和寿命。

    一种基于级联F-P干涉仪的多参量光纤传感器

    公开(公告)号:CN113970348B

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202111146662.6

    申请日:2021-09-28

    IPC分类号: G01D5/353

    摘要: 本发明提出一种基于级联F‑P干涉仪的多参量光纤传感器,该光纤传感器的单模光纤插入毛细玻璃管中,毛细玻璃管与位于前侧的石英支撑层固定,所述前侧的石英支撑层、中部的石英支撑层、硅膜片、后部的石英支撑层和PET膜片依次连接,前侧的石英支撑层、中部的石英支撑层和硅膜片上贯通一个通气小孔,硅膜片和PET膜片间设置有空气腔,通气小孔与空气腔连通。解决了对多参数测量的同时,克服各个参量之间的影响的技术问题。本发明采用级联双腔传感器并通过小孔连接空气腔与外界,可以减小动、静压测量时相互的影响,减小了反射光谱的复杂性,后续结合快速白光干涉方法,利于对腔长进行解调。

    一种膜片式压力传感器的分布式传感系统及其分布式复用方法

    公开(公告)号:CN114279606A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111583587.X

    申请日:2021-12-22

    IPC分类号: G01L1/24

    摘要: 本发明公开了一种膜片式压力传感器的分布式传感系统及其分布式复用方法,属于光纤复用技术领域,其中,该系统包括:窄线宽激光器、声光调制器、隔离器、掺铒光纤放大器、环形器、单模传感光纤、多个声压膜片传感器、光电探测器、数据采集卡、上位机和信号发生器,其中,窄线宽激光器、声光调制器、隔离器和掺铒光纤放大器依次连接,环形器的第一端口连接掺铒光纤放大器,第二端口连接单模传感光纤,第三端口连接光电探测器,单模传感光纤贴合安装在多个声压膜片传感器之上,光电探测器连接数据采集卡,数据采集卡连接上位机,信号发生器的输出端口连接声光调制器。该系统通过传感光纤实现时分复用,利用若干个声压膜片传感器实现多点测量,降低了解调系统的复杂度。

    一种共光路结构的微型光纤非本征型迈克尔逊加速度传感器

    公开(公告)号:CN108982913B

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN201811022293.8

    申请日:2018-09-01

    IPC分类号: G01P15/03

    摘要: 本发明属于光纤传感技术领域,具体涉及一种共光路结构的微型光纤非本征型迈克尔逊加速度传感器,由加速度传感装置、传感器支撑结构、传感器基座、第一增反膜、第二增反膜、玻璃套管、光纤准直透镜、光纤套筒、单模光纤组成,所述加速度传感装置固定在传感器支撑结构上,所述传感器支撑结构固定在所述传感器基座的上表面,传感器支撑结构和传感器基座的外径相同,传感器支撑结构和传感器基座内部中间区域均有一个圆形的通孔。本发明通过采用共光路结构,可以在不使用法拉第旋光镜的条件下避免偏振衰落造成的传感器信号衰落,从而保证了探测结果的稳定性;有效的降低传感器的加工成本和尺寸。

    一种双载频共路数字全息显微装置及显微方法

    公开(公告)号:CN106441085B

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201610811018.9

    申请日:2016-09-08

    IPC分类号: G01B9/04 G01B9/023 G01B9/02

    摘要: 本发明属于数字全息检测领域,具体涉及一种双载频共路数字全息显微装置及显微方法。双载频共路数字全息显微装置,包括光源、准直扩束系统、待测物体、显微物镜、校正物镜、矩形窗口、第一透镜、一维周期光栅、第二透镜、图像传感器和计算机。本发明在光栅离焦共路结构基础上,引入三孔阵列滤波技术,通过一次曝光获得生成两幅载频大小相等、方向相反的干涉图,并利用两幅干涉图相减消除直流项,不仅可充分利用相机的空间带宽积,实现高分辨力实时稳定测量,而且光利用率高,方法简单易行,不需任何相移操控或偏振元件。

    三波长载频复用共路数字全息检测装置与方法

    公开(公告)号:CN107356196B

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201710589262.X

    申请日:2017-07-19

    IPC分类号: G01B9/021

    摘要: 本发明提供一种三波长载频复用共路数字全息检测装置与方法。利用第一合色棱镜将三波长入射激光汇合成一束,依次经过准直扩束系统、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜后形成聚焦的参考光和物光;参考光照射在小孔反射镜上并被反射;物光经过第二合色棱镜后分成三波长物光,分别照射在三角反射镜上并被反射,再次经过第二合色棱镜后合成一束物光;经过反射的参考光和物光经第二合色棱镜汇合成一束后通过第二透镜后,在图像传感器光接收面产生干涉,形成三载频复用的全息图,并用图像传感器采集全息图上传到计算机中计算待测相位。它采用三光束共光路结构,结构简单,稳定性好;且只需黑白图像传感器记录全息图和简单算法完成三波长全息图分离。

    基于衍射相位共路数字全息的偏振态参量测量装置与方法

    公开(公告)号:CN107167244B

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201710436293.1

    申请日:2017-06-12

    IPC分类号: G01J4/00

    摘要: 本发明提供一种基于衍射相位共路数字全息的偏振态参量测量装置与方法,属于偏振态参量测量领域,本发明利用衍射相位共路结构生成汇合的参考光和物光,再经过偏振分光棱镜分成偏振态正交的两束光,分别经过第一四分之一波片和第一角反射镜以及第二四分之一波片和第二角反射镜并被反射;再次汇合于偏振分光棱镜的光束在图像传感器的光接收面产生干涉,形成载频方向正交的全息图,并被采集全息图计算机中;分别采集+45°和‑45°线偏振光入射时的全息图,通过计算机获得斯托克斯矩阵参量和琼斯矩阵参量。本发明在保证抗干扰能力的同时,不需要二维光栅、复杂空间滤波器阵列等特殊光学元件,方法简单易行。

    基于分光瞳的反射式共路数字全息装置与方法

    公开(公告)号:CN108562225A

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201810014746.6

    申请日:2018-01-08

    IPC分类号: G01B9/023

    摘要: 本发明涉及一种基于分光瞳的反射式共路数字全息装置与方法,属于数字全息检测领域。平行光束经过第一透镜、分光瞳的入射光瞳和物镜后,平行斜入射在待测物体上,经待测物反射后依次经过物镜、分光瞳的出射光瞳后,经反射光栅反射并衍射分光后,经过掩膜板滤波后形成物光和参考光,经果第二透镜后两光束汇合后形成载波干涉图,被图像传感器采集并上传计算机中,利用计算机计算待测物体相位。该发明结构简单,无需三维扫描机构,更适合散射物体三维定量、高分辨实时测量,采用共光路结构,增强了结构的抗干扰能力。

    基于载频正交透射点衍射数字全息的偏振态参量测量装置与方法

    公开(公告)号:CN108180998A

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201810015536.9

    申请日:2018-01-08

    IPC分类号: G01J4/00

    摘要: 本发明涉及一种基于载频正交透射点衍射数字全息的偏振态参量测量装置与方法。45°线偏振光束经过待测物体、第一透镜、第一非偏振分光棱镜、孔阵列、第二透镜、第二非偏振分光棱镜后形成物光和参考光;物光照射第一平面反射镜上并被反射至第二非偏振分光棱镜,参考光经过偏振分光棱镜再次分成两束光,分别照射第二平面反射镜和第三平面反射镜并被反射,再次经过偏振分光棱镜照射第二非偏振分光棱镜;汇合至第二非偏振分光棱镜的物光和参考光,再依次经过第二透镜、孔阵列、第一非偏振分光棱镜、第三透镜形成含有偏振分量信息的载波正交全息图,被图像传感器采集到计算机并计算获得Stokes矩阵参量和Jones矩阵参量。