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公开(公告)号：CN204741012U
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201520121897.3
申请日：2015-03-02
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: H01L23/14
Abstract: 基于柔性衬底太赫兹石墨烯谐振器，它涉及太赫兹石墨烯超材料。本实用新型现有的利用刚性衬底材料制备的太赫兹超材料，由于其不能弯曲成所需要的形状致使实际应用收到极大限制的问题。它包括衬底、柔性衬底、石墨烯谐振器，衬底上依次设置有柔性衬底和石墨烯谐振器层。本实用新型将石墨烯谐振器做在聚酰亚胺上，当光刻实验结束以后，可以将聚酰亚胺连同谐振器一起从硅片上剥离，做成柔性衬底的太赫兹超材料。与传统的刚性衬底相比，具有可弯曲等优点。谐振器所选用的材料是单层石墨烯，石墨烯除了导电、导热性能非常好，电阻率极低，电子迁移速率很快等优点外，其电导率可以通过外加电压有效地控制，这样就能非常方便地控制谐振产生的频率。
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