一种单晶炉水冷屏对中校准仪

    公开(公告)号:CN217877589U

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202221917232.X

    申请日:2022-07-25

    IPC分类号: G01B11/26 G01B11/00 C30B15/00

    摘要: 本实用新型提供一种单晶炉水冷屏对中校准仪,包括L型手持架、激光测距仪及对心件,L型手持架的横臂沿其长度方向开设有贯通的放置槽,激光测距仪固定安装于放置槽内、其激光束朝L型手持架的横臂外端发射,对心件连接于L型手持架的竖臂顶端;对心件可与单晶炉炉盖法兰的端面、外圆面贴合,用于找出单晶炉炉盖的圆心以使激光测距仪的激光束与单晶炉炉盖的直径重合并射向水冷屏直筒段的外圆面。通过对心件实现激光测距仪的激光束与单晶炉炉盖的直径重合,并以无接触的方式准确测量出水冷屏中心与炉盖中心的偏差情况,从而对水冷屏进行居中调节,操作简单便捷,提高了水冷屏对中的调节效率,有效避免了测量时对水冷屏表面的污染。