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公开(公告)号:CN101872716A
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN201010188006.8
申请日:2010-02-20
申请人: 因特瓦克公司
IPC分类号: H01L21/00 , H01L21/683
CPC分类号: H01L21/683 , H01L21/68742
摘要: 描述了一种从静电吸盘最优化释放晶片的系统和方法。监测提升销结构上的力并且基于所述力确定释放电压。以所确定的释放电压释放晶片。
公开(公告)号:CN101872716A
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN201010188006.8
申请日:2010-02-20
申请人: 因特瓦克公司
IPC分类号: H01L21/00 , H01L21/683
CPC分类号: H01L21/683 , H01L21/68742
摘要: 描述了一种从静电吸盘最优化释放晶片的系统和方法。监测提升销结构上的力并且基于所述力确定释放电压。以所确定的释放电压释放晶片。