公开(公告)号：CN115911190A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211554339.7

申请日：2022-12-05

申请人： 国家电投集团新能源科技有限公司 ,  国家电投集团江西电力有限公司新昌发电分公司

发明人： 周子超 ,  叶圣桥 ,  宿世超 ,  李世岚 ,  田宏波 ,  王伟 ,  宫元波 ,  谢明 ,  刘军 ,  李剑 ,  范晓波 ,  吴莉娟 ,  孙林

IPC分类号： H01L31/20 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0216

摘要： 本发明提供一种异质结太阳能电池的制备方法，具体包括：选用正背面已沉积透明导电薄膜层的太阳能电池片；在PVD或RDP载板夹具上放置mask图形模板，其中mask图形模板上切割或者刻蚀有若干闭合实线区域，通过PVD或RPD等方法在沉积透明导电薄膜层后的N型晶硅衬底的背面依次沉积高导电层和抗氧化保护层栅线，高导电层采用铜金属；所述抗氧化保护层为锡、银、铝、钛、铬、镍等金属及其合金或导电的氧化物和氮化物；在背面已沉积抗氧化保护层的N型晶硅衬底的背面再沉积第二层透明导电薄膜层，本发明通过增加第二层透明导电薄膜层，增加了高导电层与第二层透明导电薄膜层之间的接触面积，从而增加了结合力，避免脱栅的情况发生。