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公开(公告)号：CN106645803B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201611152409.0
申请日：2016-12-14
申请人： 国家纳米科学中心 , 广州市本原纳米仪器有限公司
摘要： 本发明涉及微纳米区域物性测量及操控技术领域，尤其涉及一种基于激光检测式的双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法。该双探针原子力显微镜快速逼近方法为：主探针沿水平的X轴、Y轴方向调节，从探针沿垂直的Z轴方向调节；调整主探针和从探针的激光器，从探针的激光器发射的光线经过反光镜反射，光线的光斑垂直射在从探针悬臂梁上。本发明提供的一种双探针原子力显微镜快速逼近方法，该方法将需要Z轴向调节的从探针的入射光通过反光镜调整为垂直方向射入，因此，在调节时不会出现偏离悬臂梁的现象，进而对于激光器仅需一次调节即可，逼近方法得到极大的简化，之后，再通过对主探针和从探针进行微调，直至两者均与样品接触，即完成逼近操作。
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公开(公告)号：CN106645803A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611152409.0
申请日：2016-12-14
申请人： 国家纳米科学中心 , 广州市本原纳米仪器有限公司
摘要： 本发明涉及微纳米区域物性测量及操控技术领域，尤其涉及一种基于激光检测式的双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法。该双探针原子力显微镜快速逼近方法为：主探针沿水平的X轴、Y轴方向调节，从探针沿垂直的Z轴方向调节；调整主探针和从探针的激光器，从探针的激光器发射的光线经过反光镜反射，光线的光斑垂直射在从探针悬臂梁上。本发明提供的一种双探针原子力显微镜快速逼近方法，该方法将需要Z轴向调节的从探针的入射光通过反光镜调整为垂直方向射入，因此，在调节时不会出现偏离悬臂梁的现象，进而对于激光器仅需一次调节即可，逼近方法得到极大的简化，之后，再通过对主探针和从探针进行微调，直至两者均与样品接触，即完成逼近操作。
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公开(公告)号：CN109799368A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910212152.0
申请日：2019-03-20
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种双探针原子力显微镜。所述双探针原子力显微镜包括两组力学检测组件、两组光热激励组件、两组探针组件和光学组件，力学检测组件包括发射检测用激光的力学检测激光器，光热激励组件包括发射光热用激光的光热激光器，探针组件包括微悬臂和固定于微悬臂上的探针针尖，光学组件能够使检测用激光聚焦于微悬臂的前端，并使光热用激光聚焦于微悬臂的后端。本发明采用两组探针组件，检测灵敏度高；采用光热激励组件控制微悬臂的振动频率，避免了机械杂峰的出现，两组力学检测组件和两组光热激励组件均共用一组光学组件，结构紧凑。
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公开(公告)号：CN109799367A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910212150.1
申请日：2019-03-20
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种激光检测式四探针原子力显微镜。所述激光检测式四探针原子力显微镜包括两组第一激光组件、两组第二激光组件、两组第一探针组件、两组第二探针组件和光学组件，第一激光组件包括发射第一激光的第一激光器，第二激光组件包括发射第二激光的第二激光器，第一激光与第二激光的方向不同，光学组件能够使第一激光聚焦于第一探针，且能够使第二激光聚焦于第二探针。本发明采用四组探针组件，消除了接触电阻对被测样品本征电阻率的影响，且可以通过一次测量便可获得样品本征电学性质；每组探针组件可以选用不同功能的探针，实现对被测样品同一区域热、电等多物理场性质的同步表征。
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公开(公告)号：CN108538765A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810433250.2
申请日：2018-05-08
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/027
摘要： 本发明实施例公开了一种刻蚀装置以及图形的转移方法，该刻蚀装置包括：原子力显微镜，所述原子力显微镜包括导电探针；以及，导电探针电子束电场产生模块，包括电流控制单元，所述电流控制单元的电信号输出端用于产生使得所述导电探针尖端发射场发射电子束的电信号。本发明实施例的技术方案通过原子力显微镜的导电探针尖端发射场发射电子束对待刻蚀样品表面的有机层进行刻蚀形成预设图形，并将预设图形通过等离子体刻蚀方法转移到待刻蚀样品表面，降低了制备成本，并且提高了刻蚀图形的分辨率。
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公开(公告)号：CN109799367B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910212150.1
申请日：2019-03-20
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种激光检测式四探针原子力显微镜。所述激光检测式四探针原子力显微镜包括两组第一激光组件、两组第二激光组件、两组第一探针组件、两组第二探针组件和光学组件，第一激光组件包括发射第一激光的第一激光器，第二激光组件包括发射第二激光的第二激光器，第一激光与第二激光的方向不同，光学组件能够使第一激光聚焦于第一探针，且能够使第二激光聚焦于第二探针。本发明采用四组探针组件，消除了接触电阻对被测样品本征电阻率的影响，且可以通过一次测量便可获得样品本征电学性质；每组探针组件可以选用不同功能的探针，实现对被测样品同一区域热、电等多物理场性质的同步表征。
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公开(公告)号：CN110095637A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910381546.9
申请日：2019-05-08
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明公开了一种原子力显微镜及样品表面性质的测试方法。所述原子力显微镜包括：信号发生器、探针组件、Z向压电陶瓷、激光发生器、光电探测器、位移粗调单元、控制器以及样品台，其中，探针组件包括探针以及激励模块，探针包括悬臂梁以及位于悬臂梁第一端的针尖，激励模块与信号发生器连接，用于接收激励信号，并在激励信号的作用下驱动探针在第一方向上偏转，激励模块为非激光光热激励模块。本发明实施例提供的技术方案，使得探针的振动频率大幅提高，从而有效加快了采用非共振轻敲模式测试待测表面性质时的速度，缩短了同一待测表面的测试时间。
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公开(公告)号：CN109799368B
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN201910212152.0
申请日：2019-03-20
申请人： 国家纳米科学中心
摘要： 本发明涉及原子力显微镜技术领域，公开一种双探针原子力显微镜。所述双探针原子力显微镜包括两组力学检测组件、两组光热激励组件、两组探针组件和光学组件，力学检测组件包括发射检测用激光的力学检测激光器，光热激励组件包括发射光热用激光的光热激光器，探针组件包括微悬臂和固定于微悬臂上的探针针尖，光学组件能够使检测用激光聚焦于微悬臂的前端，并使光热用激光聚焦于微悬臂的后端。本发明采用两组探针组件，检测灵敏度高；采用光热激励组件控制微悬臂的振动频率，避免了机械杂峰的出现，两组力学检测组件和两组光热激励组件均共用一组光学组件，结构紧凑。
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公开(公告)号：CN108538765B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201810433250.2
申请日：2018-05-08
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/027
摘要： 本发明实施例公开了一种刻蚀装置以及图形的转移方法，该刻蚀装置包括：原子力显微镜，所述原子力显微镜包括导电探针；以及，导电探针电子束电场产生模块，包括电流控制单元，所述电流控制单元的电信号输出端用于产生使得所述导电探针尖端发射场发射电子束的电信号。本发明实施例的技术方案通过原子力显微镜的导电探针尖端发射场发射电子束对待刻蚀样品表面的有机层进行刻蚀形成预设图形，并将预设图形通过等离子体刻蚀方法转移到待刻蚀样品表面，降低了制备成本，并且提高了刻蚀图形的分辨率。
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