公开(公告)号：CN114076660A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202010837173.4

申请日：2020-08-19

申请人： 国核电站运行服务技术有限公司

发明人： 柏佳磊 ,  杨炯 ,  雷春辉 ,  袁会勇 ,  刘祥祥

IPC分类号： G01M3/22 ,  F17D5/02

摘要： 本发明提供一种用于密闭空间内的管道泄漏点定位检测装置，包括通过第一管道与密闭空间相连的示踪气体混合气源、通过第二管道与被检管道入口端相连的压缩气源、设置在第二管道上的流量控制单元、以及通过第三管道与被检管道出口端相连的示踪气体检测设备，第二管道上设置有入口端示踪气体泄漏装置、以及/或第三管道上设有出口端示踪气体泄漏装置。本申请中的管道泄漏点定位检测装置中的各组件安装在密闭空间的外部、以及被检管道的两端，通过在密闭空间内注入含有示踪气体的混合气体、在被检管道一侧通过示踪气体检测设备检测示踪气体的浓度、以及探测流量变化时示踪气体浓度变化时间，能够精确地检测出管道上泄漏点的位置。

公开(公告)号：CN113375870A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110540367.2

申请日：2021-05-18

申请人： 国核电站运行服务技术有限公司

发明人： 高磊 ,  孙文彬 ,  刘祥祥 ,  袁会勇 ,  杨炯 ,  柏佳磊 ,  黄海涛 ,  马先宏

IPC分类号： G01M3/04

摘要： 本发明涉及半导体制程设备检漏技术领域，尤其涉及一种半导体制程设备的示踪气体检测方法，包括步骤一、确定通风气室内的模拟泄漏点，将示踪气体源接至模拟泄漏点；步骤二、测量并调节通风气室内的负压和排气流量，使其均满足设定条件；步骤三、测量并调节环境风速和示踪气体环境本底浓度，使其均满足设定条件；步骤四、开启示踪气体源，以设定注入流量向模拟泄漏点释放示踪气体；步骤五、在通风气室内的示踪气体达到平衡后，在设定取样点进行多次取样，然后在关闭示踪气体源后进行最后一次取样；步骤六、对取得的样品进行浓度分析，根据样品中的示踪气体浓度最大值判断通风气室的泄漏情况是否合格。具有明确的测试流程，可重复性和精确性高。

公开(公告)号：CN114076660B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202010837173.4

申请日：2020-08-19

申请人： 国核电站运行服务技术有限公司

发明人： 柏佳磊 ,  杨炯 ,  雷春辉 ,  袁会勇 ,  刘祥祥

IPC分类号： G01M3/22 ,  F17D5/02

摘要： 本发明提供一种用于密闭空间内的管道泄漏点定位检测装置，包括通过第一管道与密闭空间相连的示踪气体混合气源、通过第二管道与被检管道入口端相连的压缩气源、设置在第二管道上的流量控制单元、以及通过第三管道与被检管道出口端相连的示踪气体检测设备，第二管道上设置有入口端示踪气体泄漏装置、以及/或第三管道上设有出口端示踪气体泄漏装置。本申请中的管道泄漏点定位检测装置中的各组件安装在密闭空间的外部、以及被检管道的两端，通过在密闭空间内注入含有示踪气体的混合气体、在被检管道一侧通过示踪气体检测设备检测示踪气体的浓度、以及探测流量变化时示踪气体浓度变化时间，能够精确地检测出管道上泄漏点的位置。