公开(公告)号：CN105102188B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201480013724.8

申请日：2014-02-27

申请人： 国立大学法人九州大学 ,  富士纺控股株式会社

发明人： 土肥俊郎 ,  濑下清 ,  高木正孝 ,  柏田太志

IPC分类号： B24B37/24 ,  H01L21/304

摘要： 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫具有研磨构件，所述研磨构件具有研磨面，所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。

公开(公告)号：CN105102188A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480013724.8

申请日：2014-02-27

申请人： 国立大学法人九州大学 ,  富士纺控股株式会社

发明人： 土肥俊郎 ,  濑下清 ,  高木正孝 ,  柏田太志

IPC分类号： B24B37/24 ,  H01L21/304

CPC分类号： B24D13/00 ,  B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24D11/00

摘要： 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫具有研磨构件，所述研磨构件具有研磨面，所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。