精密元器件平面度检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN118533108A

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410657185.7

    申请日:2024-05-25

    Abstract: 本发明涉及光学面形检测技术领域,具体公开了一种精密元器件平面度检测装置及检测方法,其中包括扩束器和偏振分束器依次设置于量子光源出光口所在的光轴上;标准镜和反射镜设置于偏振分束器的反射光路一侧,其中待测元件设置于标准镜和反射镜之间;分光棱镜设置于偏振分束器远离待测元件的一侧;缩束器和第一探测器依次设置于分光棱镜远离偏振分束器的一侧,偏振分束器的透射光线依次通过分光棱镜、缩束器和第一探测器;第二探测器设置于分光棱镜反射光线的光路上。本发明的精密元器件平面度检测装置具有典型的非经典特性,基于本发明光学系统可以大大提高观测端干涉条纹的数量和分辨率,从而很好地判定元器件的平面度,提升其合格率。

Patent Agency Ranking