一种多功能激光精密加工设备

    公开(公告)号:CN108747000B

    公开(公告)日:2020-08-18

    申请号:CN201810610941.5

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 根据本发明实施例的一种多功能激光精密加工设备,包括:激光器;扩束器;衰减器;第一全反镜;第二全反镜;第三全反镜;旋转反射镜;第四全反镜;扫描振镜模块;第五全反镜;第一摄像头;在线检测探针;第六全反镜;光束调控模块;第七全反镜;第二摄像头;第三摄像头;位移平台;其中,旋转反射镜可在向第四全反镜反射激光束的位置与向第六全反镜反射激光束的位置间可切换。根据本发明实施例的一种多功能激光精密加工设备,视器件的加工要求而定,切割、修调工艺过程可以单独进行,也可两个依次进行;可以是先切割后修调,也可以是先修调后切割。

    一种多功能激光精密加工设备

    公开(公告)号:CN108747000A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810610941.5

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 根据本发明实施例的一种多功能激光精密加工设备,包括:激光器;扩束器;衰减器;第一全反镜;第二全反镜;第三全反镜;旋转反射镜;第四全反镜;扫描振镜模块;第五全反镜;第一摄像头;在线检测探针;第六全反镜;光束调控模块;第七全反镜;第二摄像头;第三摄像头;位移平台;其中,旋转反射镜可在向第四全反镜反射激光束的位置与向第六全反镜反射激光束的位置间可切换。根据本发明实施例的一种多功能激光精密加工设备,视器件的加工要求而定,切割、修调工艺过程可以单独进行,也可两个依次进行;可以是先切割后修调,也可以是先修调后切割。

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