公开(公告)号：CN102265218A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN201080003812.1

申请日：2010-01-22

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： U·T·杜厄里格 ,  B·W·格茨曼 ,  J·L·赫德里克 ,  A·W·科诺尔 ,  D·皮雷斯

IPC: G03F7/00 ,  G11B9/00 ,  G01Q80/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007 ,  Y10T428/24355

Abstract: 描述了用于构图材料表面的基于探针的方法。具体地，描述了材料表面上的分子的高分辨率构图，诸如具有小于30纳米的特征尺寸的纳米级图案。在一个方面，一种用于构图材料表面的方法包括提供具有聚合物膜的材料。继而使用经加热的、纳米级尺度的探针来在与膜相互作用时解吸分子。膜包括经由诸如氢键之类的分子间(非共价)键交联的分子的网络(诸如分子玻璃)。