公开(公告)号：CN1240112C

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN03154955.1

申请日：2003-08-25

申请人： 国际商业机器公司

发明人： M·T·布雷格汉姆 ,  D·F·加纳帕利 ,  M·A·科布 ,  W·库特 ,  K·M·戴维斯 ,  S·A·艾丝泰斯 ,  E·J·乔丹 ,  J·W·汉纳 ,  M·克里什南 ,  M·F·洛夫罗 ,  M·J·麦克唐纳德 ,  D·A·谢弗 ,  G·J·斯卢舍 ,  J·A·托纳罗 ,  E·J·怀特

IPC分类号： H01L21/304 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/321 ,  H01L21/46 ,  C09G1/02

摘要： 浆料组合物，包括氧化剂、可选择的铜腐蚀抑制剂、研磨剂粒子；表面活性剂、氯化物和硫酸根离子源。

公开(公告)号：CN1519286A

公开(公告)日：2004-08-11

申请号：CN03154955.1

申请日：2003-08-25

申请人： 国际商业机器公司

发明人： M·T·布雷格汉姆 ,  D·F·加纳帕利 ,  M·A·科布 ,  W·库特 ,  K·M·戴维斯 ,  S·A·艾丝泰斯 ,  E·J·乔丹 ,  J·W·汉纳 ,  M·克里什南 ,  M·F·洛夫罗 ,  M·J·麦克唐纳德 ,  D·A·谢弗 ,  G·J·斯卢舍 ,  J·A·托纳罗 ,  E·J·怀特

IPC分类号： C09G1/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/321 ,  H01L21/46

摘要： 浆料组合物，包括氧化剂、可选择的铜腐蚀抑制剂、研磨剂粒子；表面活性剂、氯化物和硫酸根离子源。