公开(公告)号：CN108351369B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201680065659.2

申请日：2016-11-16

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： B·W·格茨曼 ,  F·门杰斯 ,  P·P·N·尼尔马拉杰

IPC: G01Q70/14

Abstract: 用于扫描探针显微镜(110)的扫描探针传感器(100)包括具有铁磁流体(125)的探针尖端(120)和适于产生作用在铁磁流体(125)上的磁场的磁场发生器(130)。此外，传感器控制器(150)被提供并被配置为控制磁场发生器(130)的一个或多个参数，从而控制流体(125)的形状。

公开(公告)号：CN108351369A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680065659.2

申请日：2016-11-16

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： B·W·格茨曼 ,  F·门杰斯 ,  P·P·N·尼尔马拉杰

IPC: G01Q70/14

Abstract: 用于扫描探针显微镜(110)的扫描探针传感器(100)包括具有铁磁流体(125)的探针尖端(120)和适于产生作用在铁磁流体(125)上的磁场的磁场发生器(130)。此外，传感器控制器(150)被提供并被配置为控制磁场发生器(130)的一个或多个参数，从而控制流体(125)的形状。