公开(公告)号：CN113716953A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202111074675.7

申请日：2021-09-14

申请人： 基迈克材料科技(苏州)有限公司

发明人： 甘志俭 ,  张玉玲 ,  袁伟 ,  陈荣华 ,  诸斌

IPC分类号： C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

摘要： 本发明涉及材料加工技术领域，特别是涉及一种氧化铈掺杂IZO粉体、靶材及制备方法。本发明通过选用金属铈作为掺杂剂，与金属铟和金属锌性质匹配，能在800℃～850℃下形成液态合金，对该液态合金进行气雾化处理后，能得到三种金属分散高度均匀的合金颗粒，同时，雾化时施加氧气，能使得合金颗粒在800℃～850℃的温度下迅速被氧化成合金氧化物颗粒，从而获得以机械研磨方式难以达到的均匀程度的氧化铈掺杂IZO粉体，能进一步制成较纯IZO靶材电阻更低，较传统掺杂技术更均匀、性能更好的氧化铈掺杂IZO靶材，而且制备过程中不涉及酸、氨水等试剂的使用，因此不会产生废水废气污染环境，更绿色环保。

公开(公告)号：CN113716953B

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202111074675.7

申请日：2021-09-14

申请人： 基迈克材料科技(苏州)有限公司

发明人： 甘志俭 ,  张玉玲 ,  袁伟 ,  陈荣华 ,  诸斌

IPC分类号： C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

摘要： 本发明涉及材料加工技术领域，特别是涉及一种氧化铈掺杂IZO粉体、靶材及制备方法。本发明通过选用金属铈作为掺杂剂，与金属铟和金属锌性质匹配，能在800℃～850℃下形成液态合金，对该液态合金进行气雾化处理后，能得到三种金属分散高度均匀的合金颗粒，同时，雾化时施加氧气，能使得合金颗粒在800℃～850℃的温度下迅速被氧化成合金氧化物颗粒，从而获得以机械研磨方式难以达到的均匀程度的氧化铈掺杂IZO粉体，能进一步制成较纯IZO靶材电阻更低，较传统掺杂技术更均匀、性能更好的氧化铈掺杂IZO靶材，而且制备过程中不涉及酸、氨水等试剂的使用，因此不会产生废水废气污染环境，更绿色环保。