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发明公开
测定背散射电子能谱的装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN111801764A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201980016742.4

申请日：2019-03-01

申请人： 塔斯米特株式会社

发明人： 嘉藤诚 , 佐佐木澄夫 , 田中幸浩 , 山崎裕一郎

IPC分类号： H01J37/05 , G01N23/20 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29

摘要： 本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。