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公开(公告)号:CN101421817B
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN200780012902.5
申请日:2007-04-13
申请人: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
IPC分类号: H01J49/06
CPC分类号: H01J49/42 , H01J49/0031 , H01J49/0045
摘要: 公开了一种用于减少特定和有限质荷比范围上的离子的能量分散的方法,以及实现该方法的离子减速装置。具有电场强度E的电场由减速电极装置(250)产生。特定和有限质荷比范围的但具有能量分散的离子被引导到由减速电极装置(250)产生的减速电场中。然后一旦基本上特定质荷比范围的所有离子已经进入该减速电场,就去除该减速电场。通过使电场强度E与进入该电场的离子能量分散匹配,可减少所述离子的能量分散。本发明的优选实施例采用在离子减速装置上游的能量离散。例如,可使用离子反射镜装置(200),将离子反射出在该离子镜装置(200)内的离子反射镜(220)以推动能量散焦。
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公开(公告)号:CN101421817A
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200780012902.5
申请日:2007-04-13
申请人: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
IPC分类号: H01J49/06
CPC分类号: H01J49/42 , H01J49/0031 , H01J49/0045
摘要: 公开了一种用于减少特定和有限质荷比范围上的离子的能量分散的方法,以及实现该方法的离子减速装置。具有电场强度E的电场由减速电极装置(250)产生。特定和有限质荷比范围的但具有能量分散的离子被引导到由减速电极装置(250)产生的减速电场中。然后一旦基本上特定质荷比范围的所有离子已经进入该减速电场,就去除该减速电场。通过使电场强度E与进入该电场的离子能量分散匹配,可减少所述离子的能量分散。本发明的优选实施例采用在离子减速装置上游的能量离散。例如,可使用离子反射镜装置(200),将离子反射出在该离子镜装置(200)内的离子反射镜(220)以推动能量散焦。
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