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公开(公告)号：CN2271747Y
公开(公告)日：1997-12-31
申请号：CN95244076.8
申请日：1995-05-24
Applicant: 复旦大学
IPC: H01J9/385
Abstract: 本实用新型是一种具有保护功能的彩色显像管分子泵系统，包括分子泵与前级机械泵连接的隔断放气阀、电磁快阀及快阀控制器等。在对显像管排气过程中，如果碰上异常情况，真空度迅速下降到一定阀值时，快阀迅速关闭气路，分子泵仍处于正常工作状态。换管时，由旁路管道排气，当主系统压强达到一定值时，快阀又自动打开，使分子泵又开始抽主系统。在显像管漏气或换管过程中，分子泵无需关闭。这样，既保护了分子泵，又节省了操作时间。
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