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公开(公告)号:CN1073014A
公开(公告)日:1993-06-09
申请号:CN92108617.2
申请日:1992-10-28
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明属固体表面分析技术领域,是一种获得固体表面元素分布图的新方法。它根据出现电势谱的原理和扫描电镜能产生聚焦电子束的特性,提出了扫描出现电势谱的方法,即先用散焦的电子束轰击样品表面,电子能量从小到大作线性变化,用二次电子探头接收二次电子,获知样品表面的元素成分。然后将电子束能量固定在该元素信号的出峰位置处,用聚焦的电子束在固体表面逐点二维扫描,获得表面元素分布二维图象。本发明方法简单、准确,不需要复杂的能量分析器。
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公开(公告)号:CN2271747Y
公开(公告)日:1997-12-31
申请号:CN95244076.8
申请日:1995-05-24
Applicant: 复旦大学
IPC: H01J9/385
Abstract: 本实用新型是一种具有保护功能的彩色显像管分子泵系统,包括分子泵与前级机械泵连接的隔断放气阀、电磁快阀及快阀控制器等。在对显像管排气过程中,如果碰上异常情况,真空度迅速下降到一定阀值时,快阀迅速关闭气路,分子泵仍处于正常工作状态。换管时,由旁路管道排气,当主系统压强达到一定值时,快阀又自动打开,使分子泵又开始抽主系统。在显像管漏气或换管过程中,分子泵无需关闭。这样,既保护了分子泵,又节省了操作时间。
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