公开(公告)号：CN117497632A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311537602.6

申请日：2023-11-17

Applicant: 复旦大学

Inventor： 王建禄 ,  巴坤 ,  狄云翔

IPC: H01L31/109 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种基于MXene透明电极的红外量子点光电探测器及其制备和应用，利用热注入法制备不同尺寸的量子点，调控其均一性；随后，在设计有底电极的Si/SiO2基底上可控制备具有电子传输和空穴阻挡作用的金属氧化物薄膜；接着，通过配体交换技术在金属氧化物薄膜上制备厚度和掺杂类型可控的量子点光敏层；在此基础上制备作为透明电极的MXene纳米片薄膜，并对器件烘干处理；待器件完全干燥后，在调节入射光功率和波长的条件下，对器件的红外光电探测性能进行表征和成像验证。本发明中量子点类型和尺寸可调，MXene导电率和功函数可控，操作简单，成本低，MXene透明电极对光敏层的破坏率低，器件的灵敏度高，响应谱段宽。