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公开(公告)号：CN110261066B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201910215732.5
申请日：2019-03-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密工程技术领域，具体为一种基于剪切干涉的近场显微探测光束定心方法。方法步骤如下：在原子力显微系统中，从样品下方将激光束聚焦在探针针尖上，入射光束和样品夹角40°~50°；从斜上方安装凸透镜，将散射的发散光束变为近似平行光；然后放置剪切分光板，形成剪切干涉光路，剪切光束和分光板夹角60°~70°；在反射光束上放置探测屏，通过干涉条纹判断探测光束在探针针尖的定心情况。本发明的优点在于，有效利用了激光干涉的高灵敏度，通过剪切干涉的整体条纹图像判断定心偏差；且干涉光束不穿过被测样品，不受样品表面起伏和材料特性的干扰，可以实现探测激光束的准确聚焦，对于提高近场显微测量的效率与精度有重要意义。
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公开(公告)号：CN110261066A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910215732.5
申请日：2019-03-21
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密工程技术领域，具体为一种基于剪切干涉的近场显微探测光束定心方法。方法步骤如下：在原子力显微系统中，从样品下方将激光束聚焦在探针针尖上，入射光束和样品夹角40°~50°；从斜上方安装凸透镜，将散射的发散光束变为近似平行光；然后放置剪切分光板，形成剪切干涉光路，剪切光束和分光板夹角60°~70°；在反射光束上放置探测屏，通过干涉条纹判断探测光束在探针针尖的定心情况。本发明的优点在于，有效利用了激光干涉的高灵敏度，通过剪切干涉的整体条纹图像判断定心偏差；且干涉光束不穿过被测样品，不受样品表面起伏和材料特性的干扰，可以实现探测激光束的准确聚焦，对于提高近场显微测量的效率与精度有重要意义。
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公开(公告)号：CN109358334B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN201811329045.8
申请日：2018-11-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密工程领域，具体为一种基于部分相干光的纳米位移台精密定位方法。该方法步骤如下：采用低相干光源，首先利用干涉光路，根据干涉图像的对比度确定最佳对焦位置；随着物镜的纵向移动记录干涉条纹的变化，利用发明中的拟合算法得到干涉强度包络曲线，计算得出光束的物理参数，再由干涉图样之间的相位关系确定相对位移。此算法考虑到了误差效应，通用性好，抗噪能力强。本发明的优点在于采用部分相干光源可以同时实现对焦和位移测量，获得更高的重复定位精度，对于提高微纳加工的效率与可靠性有重要意义。
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公开(公告)号：CN109358334A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811329045.8
申请日：2018-11-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密工程领域，具体为一种基于部分相干光的纳米位移台精密定位方法。该方法步骤如下：采用低相干光源，首先利用干涉光路，根据干涉图像的对比度确定最佳对焦位置；随着物镜的纵向移动记录干涉条纹的变化，利用发明中的拟合算法得到干涉强度包络曲线，计算得出光束的物理参数，再由干涉图样之间的相位关系确定相对位移。此算法考虑到了误差效应，通用性好，抗噪能力强。本发明的优点在于采用部分相干光源可以同时实现对焦和位移测量，获得更高的重复定位精度，对于提高微纳加工的效率与可靠性有重要意义。
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