公开(公告)号：CN102121098A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201010022645.7

申请日：2010-01-08

Applicant: 复旦大学

Inventor： 陈国荣 ,  莫晓亮 ,  刘晓萌 ,  龚大卫

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及一种外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其为双层结构，外层是石英保护腔外筒，内层是石英反应腔内筒，摆放基片的衬底托盘安装在反应腔内筒腔内，双重保护确保基片反应时不受外界环境影响，保证高纯和化学、物理稳定的要求；本发明反应腔的衬底托盘由旋转轴支撑，并通过旋转轴与衬底托盘旋转机构联接，工作时衬底托盘可主动旋转，有效提高了薄膜组分和厚度的均匀性。本发明采用在反应腔外设置加热体的方法，大大简化了反应腔和加热体的结构，降低了设备成本；同时外置的加热体避免了加热组件对反应腔的污染；加热器相对反应腔中的衬底能够作相对位置移动，在反应过程中或结束时能够简单快速地改变基板温度。

公开(公告)号：CN1257135A

公开(公告)日：2000-06-21

申请号：CN99125713.8

申请日：1999-12-23

Applicant: 复旦大学

Inventor： 龚大卫 ,  樊永良 ,  蒋最敏 ,  候晓远 ,  王迅

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明涉及的是一种溅射制备氧化铟锡/金属/氧化铟锡多层薄膜结构透明电极的工艺。现有溅射工艺要加热,不适合有机衬底,而且基体温度过高,不利于产品性能的提高。本发明室温条件下溅射制备氧化铟锡/金属/氧化铟锡复合透明导电薄膜电极,该工艺的优点是:基片不需要加热,电极导电性好,有较好的透光性,有优良的表面平整度,薄膜电气性能稳定。该工艺适用于各种有机薄膜发光器件和其他高温耐受性较差的薄膜发光器件的透明电极制备。