公开(公告)号：CN111929339A

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN202010812147.6

申请日：2020-08-13

申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司

发明人： 刘熙 ,  李高洁 ,  张传杰 ,  樊丽丽

IPC分类号： G01N23/2251

摘要： 本发明公开了一种基于3D点云的扫描电子显微镜自动扫描方法及系统，该方法通过3D扫描设备获取多曲面样品几何表面空间点云数据，并选取样品需要分析区域的空间点云数据，通过空间坐标系转换，将上述点云数据转换为基于扫描电镜空间坐标系的点云数据，根据样品分析需求将转换后的点云数据转换为扫描电镜控制指令，使扫描电镜依据指令快速完成多曲面样品扫描分析；该系统主要包括样品3D模块、空间坐标转换模块、扫描轨迹计算模块及扫描电镜控制模块等。本发明依据3D扫描后获取的不规则多曲面样品几何表面空间点云数据，可控制扫描电镜自动、快速地完成样品的分析工作，从而有效缩短了复杂表面样品分析时间，减轻工作强度，提高生产效率。

公开(公告)号：CN111929339B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202010812147.6

申请日：2020-08-13

申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司

发明人： 刘熙 ,  李高洁 ,  张传杰 ,  樊丽丽

IPC分类号： G01N23/2251

摘要： 本发明公开了一种基于3D点云的扫描电子显微镜自动扫描方法及系统，该方法通过3D扫描设备获取多曲面样品几何表面空间点云数据，并选取样品需要分析区域的空间点云数据，通过空间坐标系转换，将上述点云数据转换为基于扫描电镜空间坐标系的点云数据，根据样品分析需求将转换后的点云数据转换为扫描电镜控制指令，使扫描电镜依据指令快速完成多曲面样品扫描分析；该系统主要包括样品3D模块、空间坐标转换模块、扫描轨迹计算模块及扫描电镜控制模块等。本发明依据3D扫描后获取的不规则多曲面样品几何表面空间点云数据，可控制扫描电镜自动、快速地完成样品的分析工作，从而有效缩短了复杂表面样品分析时间，减轻工作强度，提高生产效率。