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公开(公告)号：CN111929339A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010812147.6
申请日：2020-08-13
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种基于3D点云的扫描电子显微镜自动扫描方法及系统，该方法通过3D扫描设备获取多曲面样品几何表面空间点云数据，并选取样品需要分析区域的空间点云数据，通过空间坐标系转换，将上述点云数据转换为基于扫描电镜空间坐标系的点云数据，根据样品分析需求将转换后的点云数据转换为扫描电镜控制指令，使扫描电镜依据指令快速完成多曲面样品扫描分析；该系统主要包括样品3D模块、空间坐标转换模块、扫描轨迹计算模块及扫描电镜控制模块等。本发明依据3D扫描后获取的不规则多曲面样品几何表面空间点云数据，可控制扫描电镜自动、快速地完成样品的分析工作，从而有效缩短了复杂表面样品分析时间，减轻工作强度，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN111721793B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010749226.7
申请日：2020-07-30
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2204 , G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，由密封腔、阀门机构、动力机构和承载托架组成，密封腔包括固定底板、转移装置腔体、密封条、密封盖板，阀门机构用于对密封腔抽真空，动力机构用于开闭密封盖板，固定底板与密封盖板之间设有导柱，承载托架上设有样品钉放置孔，并水平安装在密封盖板后侧面的上部，承载托架的上表面与转移装置腔体的内壁顶部之间仅存在细微的间距。本发明体积小巧，结构简单，真空密封性好，可靠度高，非常适用于狭小空间的小型化扫描电镜，可以在保证低成本的同时，完成空气敏感类样品在手套箱和小型扫描电镜之间的真空密封转移，从而解决了小型化扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。
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公开(公告)号：CN117949485A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410097612.0
申请日：2024-01-24
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种手套箱内置场发射扫描电子显微镜的运行方法和系统，该运行方法包括：将指定的场发射扫描电子显微镜放置于特定的手套箱内，通过采取特定的降低静电干扰方式、特定的降低震动干扰方式、特定的降低热量干扰方式，进而实现在隔绝水氧的条件下，直接利用场发射扫描电子显微镜对易氧化二维材料进行转移、表征。本发明通过降低静电干扰、震动干扰、热量干扰，从而使得场发射扫描电子显微镜能够在手套箱内稳定运行，进而实现了场发射扫描电子显微镜在手套箱内对水氧敏感样品的直接观测，这十分有助于实现二维材料，尤其是易氧化二维材料在隔绝水氧的条件下的转移和表征。
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公开(公告)号：CN111929339B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010812147.6
申请日：2020-08-13
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种基于3D点云的扫描电子显微镜自动扫描方法及系统，该方法通过3D扫描设备获取多曲面样品几何表面空间点云数据，并选取样品需要分析区域的空间点云数据，通过空间坐标系转换，将上述点云数据转换为基于扫描电镜空间坐标系的点云数据，根据样品分析需求将转换后的点云数据转换为扫描电镜控制指令，使扫描电镜依据指令快速完成多曲面样品扫描分析；该系统主要包括样品3D模块、空间坐标转换模块、扫描轨迹计算模块及扫描电镜控制模块等。本发明依据3D扫描后获取的不规则多曲面样品几何表面空间点云数据，可控制扫描电镜自动、快速地完成样品的分析工作，从而有效缩短了复杂表面样品分析时间，减轻工作强度，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN117191840A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311207120.4
申请日：2023-09-19
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2202 , G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种滤膜上颗粒物的固定方法和应用，该方法的步骤包括：对表面分散有滤膜颗粒物的滤膜样品进行烘干，将烘干后的滤膜样品浸润在特定胶水中，对经特定胶水浸润的滤膜样品进行干燥。本发明可以简单、快捷、高效、安全地对滤膜样品上的滤膜颗粒物进行固定，固定完成后的滤膜样品可在外界真空环境发生变化时大大降低滤膜颗粒物的丢失。并且采用本发明这种固定方法所固定的有机系滤膜的样品损失要明显低于采用本发明这种固定方法所固定的水系滤膜，并且随着滤膜孔径的增加，固定效果越好，样品损失越低。因此本发明可以作为扫描电镜分析前对于滤膜样品的一种预处理手段，提高扫描电镜对于滤膜颗粒物成分信息分析的准确性。
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公开(公告)号：CN111721793A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010749226.7
申请日：2020-07-30
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2204 , G01N23/2251
摘要： 本发明公开了一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，由密封腔、阀门机构、动力机构和承载托架组成，密封腔包括固定底板、转移装置腔体、密封条、密封盖板，阀门机构用于对密封腔抽真空，动力机构用于开闭密封盖板，固定底板与密封盖板之间设有导柱，承载托架上设有样品钉放置孔，并水平安装在密封盖板后侧面的上部，承载托架的上表面与转移装置腔体的内壁顶部之间仅存在细微的间距。本发明体积小巧，结构简单，真空密封性好，可靠度高，非常适用于狭小空间的小型化扫描电镜，可以在保证低成本的同时，完成空气敏感类样品在手套箱和小型扫描电镜之间的真空密封转移，从而解决了小型化扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。
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公开(公告)号：CN212459471U
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202021544815.3
申请日：2020-07-30
申请人： 复纳科学仪器(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2204 , G01N23/2251
摘要： 本实用新型公开了一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，由密封腔、阀门机构、动力机构和承载托架组成，密封腔包括固定底板、转移装置腔体、密封条、密封盖板，阀门机构用于对密封腔抽真空，动力机构用于开闭密封盖板，固定底板与密封盖板之间设有导柱，承载托架上设有样品钉放置孔，并水平安装在密封盖板后侧面的上部，承载托架的上表面与转移装置腔体的内壁顶部之间仅存在细微的间距。本实用新型体积小巧，结构简单，真空密封性好，可靠度高，非常适用于狭小空间的小型化扫描电镜，可以在保证低成本的同时，完成空气敏感类样品在手套箱和小型扫描电镜之间的真空密封转移，从而解决了小型化扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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