公开(公告)号：CN108204788A

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201711363844.2

申请日：2017-12-18

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 冈本宗大 ,  佐佐木勇贵 ,  罗先钦

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01B11/0625 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2803 ,  G01N21/255 ,  G01N21/8422 ,  G01N2021/6417 ,  G01B11/06 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光，生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱，测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小，确定用于光学特性的测定的检测数据，基于所确定的检测数据，测定光学特性(S6、S6A)。

公开(公告)号：CN108204788B

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN201711363844.2

申请日：2017-12-18

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 冈本宗大 ,  佐佐木勇贵 ,  罗先钦

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光，生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱，测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小，确定用于光学特性的测定的检测数据，基于所确定的检测数据，测定光学特性(S6、S6A)。