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公开(公告)号:CN109437234A
公开(公告)日:2019-03-08
申请号:CN201811361799.1
申请日:2018-11-15
申请人: 大连中鼎化学有限公司 , 杭州士兰微电子股份有限公司
摘要: 本发明涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用的方法。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气技术,将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用,具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本发明可以将传统工艺中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收,并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程,大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高,回收液氨、氮气和氢气纯度高,纯化深度好,回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN109437234B
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN201811361799.1
申请日:2018-11-15
申请人: 大连中鼎化学有限公司 , 杭州士兰微电子股份有限公司
摘要: 本发明涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用的方法。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气技术,将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用,具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本发明可以将传统工艺中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收,并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程,大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高,回收液氨、氮气和氢气纯度高,纯化深度好,回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN209306960U
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201821884830.5
申请日:2018-11-15
申请人: 大连中鼎化学有限公司 , 杭州士兰微电子股份有限公司
摘要: 本实用新型涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用装置。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气设备,将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用,具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本实用新型可以将现有技术中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收,并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程,大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高,回收液氨、氮气和氢气纯度高,纯化深度好,回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN113120874A
公开(公告)日:2021-07-16
申请号:CN201911420439.9
申请日:2019-12-31
申请人: 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号: C01B23/00
摘要: 本发明涉及一种从天然气液化后的不凝气体中提取氦气的纯化装置与方法,属于资源综合利用技术领域。主要技术方案为高压循环风机、循环气体流量计量和控制装置、催化脱氢反应器、水冷却和分水器形成的闭环系统;所述的催化脱氢反应器的入口设有原料气入口管道,在原料气入口管道上设有氢气分析仪和流量计;在原料气入口管道与催化脱氢反应器入口的交汇处,设有精确控制加氧系统,在氦气出口的管道上设有氢、氧分析仪。本发明属国内首创,具有回收效率高,运行安全可靠,回收氦气纯度高,净化深度好,回收成本低的显著特点。
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公开(公告)号:CN118150439B
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202410574688.8
申请日:2024-05-10
申请人: 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号: G01N15/08 , G01N31/10 , G06F17/18 , G06F18/241 , G16C20/10
摘要: 本发明公开了一种基于气体数据识别的催化吸附材料评价系统及方法,属于化学或物理分析领域,本发明获取定量反应物在适应反应条件下进行反应作为对照反应组,同时获取等量反应物在适应反应条件和催化吸附材料的共同作用下进行反应,获取反应生成物的量变化曲线,将获取的反应生成物的量变化曲线导入催化效果评价策略中进行催化效果评价值的计算,将获取的反应生成物的量变化曲线导入吸附效果评价策略中进行吸附效果评价值的计算,将计算得到的催化效果评价值和吸附效果评价值导入材料评价值计算策略中进行材料评价值的计算,根据材料评价值的计算结果,进行催化吸附材料优次品的判断,通过材料的催化吸附效果对材料性能进行综合评价。
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公开(公告)号:CN113120873A
公开(公告)日:2021-07-16
申请号:CN201911411877.9
申请日:2019-12-31
申请人: 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号: C01B23/00
摘要: 本发明涉及一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法,属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下:一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置,包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统;所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔;所述的催化塔包括第一催化塔和第二催化塔,所述的第一催化塔连接第一热交换器,所述的第二催化塔连接第二热交换器;本发明可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于用氩气做保护气的工业炉放空废气中回收氩气,具有十分良好的经济效益和环保效益。
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公开(公告)号:CN118150439A
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN202410574688.8
申请日:2024-05-10
申请人: 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号: G01N15/08 , G01N31/10 , G06F17/18 , G06F18/241 , G16C20/10
摘要: 本发明公开了一种基于气体数据识别的催化吸附材料评价系统及方法,属于化学或物理分析领域,本发明获取定量反应物在适应反应条件下进行反应作为对照反应组,同时获取等量反应物在适应反应条件和催化吸附材料的共同作用下进行反应,获取反应生成物的量变化曲线,将获取的反应生成物的量变化曲线导入催化效果评价策略中进行催化效果评价值的计算,将获取的反应生成物的量变化曲线导入吸附效果评价策略中进行吸附效果评价值的计算,将计算得到的催化效果评价值和吸附效果评价值导入材料评价值计算策略中进行材料评价值的计算,根据材料评价值的计算结果,进行催化吸附材料优次品的判断,通过材料的催化吸附效果对材料性能进行综合评价。
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公开(公告)号:CN111389169A
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN202010124823.0
申请日:2020-02-27
申请人: 大连中鼎化学有限公司
摘要: 本发明涉及一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法,属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为:包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置,以及阀门、管道管件和控制系统;所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、主换热器、冷凝塔、再沸脱气塔、液氨储存釜,在液氨储存釜内部设有次换热器,再沸脱气塔的底部与液氨储存釜连接。本发明大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高、回收的液氨纯度高、纯化深度好、回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN211644607U
公开(公告)日:2020-10-09
申请号:CN201922479776.7
申请日:2019-12-31
申请人: 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号: C01B23/00
摘要: 本实用新型涉及一种从不凝气体中提取氦气的纯化装置,属于资源综合利用技术领域。主要技术方案为高压循环风机、循环气体流量计量和控制装置、催化脱氢反应器、水冷却和分水器形成的闭环系统;所述的催化脱氢反应器的入口设有原料气入口管道,在原料气入口管道上设有氢气分析仪和流量计;在原料气入口管道与催化脱氢反应器入口的交汇处,设有精确控制加氧系统,在氦气出口的管道上设有氢、氧分析仪。本实用新型属国内首创,具有回收效率高,运行安全可靠,回收氦气纯度高,净化深度好,回收成本低的显著特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN211971779U
公开(公告)日:2020-11-20
申请号:CN202020219519.X
申请日:2020-02-27
申请人: 大连中鼎化学有限公司
摘要: 本实用新型涉及一种回收高纯氨的装置,属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为:包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置,以及阀门、管道管件和控制系统;所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、主换热器、冷凝塔、再沸脱气塔、液氨储存釜,在液氨储存釜内部设有次换热器,再沸脱气塔的底部与液氨储存釜连接。本实用新型大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高、回收的液氨纯度高、纯化深度好、回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。
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