一种聚合物微器件的超声波焊接装置及其焊接方法

    公开(公告)号:CN102700137A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201210228096.8

    申请日:2012-07-03

    Abstract: 本发明公开了一种聚合物微器件的超声波焊接装置及其焊接方法,所述的装置包括超声换能器、超声波工具头、超声波发生器和工控机,所述的工控机通过电缆经继电器卡与超声波发生器连接,所述的超声波发生器通过电缆与超声换能器连接,所述的超声波工具头与超声换能器连接;所述的工控机还通过数据线与在线超声检测装置连接;所述的在线超声检测装置包括信号处理模块和传感器组件,所述的信号处理模块通过数据线分别与工控机和传感器组件连接。本发明可以更为直接地控制热影响区域中聚合物材料的力学状态,在超声波焊接过程中对于界面熔合行为的控制更加精确。本发明为聚合物MEMS器件的精密封装提供了有效的技术手段。

    一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法

    公开(公告)号:CN103692648B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201410003056.2

    申请日:2014-01-03

    Abstract: 本发明公开了一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法,所述的装置包括超声波发生器、功率调节器、在线超声检测模块、信号处理模块、超声换能器、超声波工具头、运动控制组件、辅助传感组件、调平基座和控制系统;辅助传感组件包括称重传感器和位移传感器,运动控制组件包括运动控制卡、驱动电机和直线运动导轨,控制系统通过电缆依次经功率调节器和超声波发生器后与超声换能器连接,用于控制超声波通断及调节超声波振幅。本发明针对超声波在固相和液相聚合物界面间的两种加热机理,分别加载不同的超声波能量,可提高界面熔接行为的可控性。本发明可提高封接过程中产热速率的平稳性,有利于提高界面聚合物热熔行为的控制精确性。

    一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法

    公开(公告)号:CN103692648A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201410003056.2

    申请日:2014-01-03

    Abstract: 本发明公开了一种微纳结构的超声波封接装置及其封接方法,所述的装置包括超声波发生器、功率调节器、在线超声检测模块、信号处理模块、超声换能器、超声波工具头、运动控制组件、辅助传感组件、调平基座和控制系统;辅助传感组件包括称重传感器和位移传感器,运动控制组件包括运动控制卡、驱动电机和直线运动导轨,控制系统通过电缆依次经功率调节器和超声波发生器后与超声换能器连接,用于控制超声波通断及调节超声波振幅。本发明针对超声波在固相和液相聚合物界面间的两种加热机理,分别加载不同的超声波能量,可提高界面熔接行为的可控性。本发明可提高封接过程中产热速率的平稳性,有利于提高界面聚合物热熔行为的控制精确性。

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