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公开(公告)号：CN114156157B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202111457907.7
申请日：2021-12-01
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明涉及一种等离子体产生装置，涉及等离子体技术领域，包括第一栅极、第二栅极、磁场产生部件；第一栅极与第二栅极平行设置，且第一栅极与第二栅极之间间隔第一距离；第一距离为德拜长度量级的距离；第一栅极与电源组件连接；磁场产生部件用于产生平行于第一栅极的磁场；工作时，电源组件向第一栅极施加射频电压，使得第一栅极与第二栅极之间产生第一交变电场，在第一交变电场内的电子经过共振加速后进入到磁场，进而在磁场中回旋返回至第一交变电场继续进行共振加速，以产生等离子体；第一交变电场的周期与磁场的周期相同。本发明在低气压下放电效率高，且能够产生径向均匀性良好的等离子体。
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公开(公告)号：CN112259434A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011215150.6
申请日：2020-11-04
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明提供一种任意波形驱动放电控制系统，包括：反应器、计算机、信号发生器、功率放大器和匹配网络。反应器用于维持等离子体放电；计算机，与反应器连接，用于产生第一波形数据，还用于采集反应器的电压，并判断反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压是否满足约束条件，如果反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压满足约束条件，则停止对反应器的电压判断；如果不满足约束条件，则调整并输出调整后的第一波形数据；信号发生器、功率放大器和匹配网络分别对第一波形数据进行处理并施加在反应器上。本发明提高了控制精度和效率，扩大了系统的适用范围和工作频率。
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公开(公告)号：CN110440951B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201910838772.5
申请日：2019-09-05
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01K11/32
摘要： 本发明公开了一种等离子气体的温度测量装置，包括：真空腔室、光纤温度传感器、石英管、环形器、光谱仪、宽带光源和计算机；所述石英管的一端插入所述真空腔室中；所述光纤温度传感器位于所述真空腔室的等离子气体中，并固定于所述石英管上；所述光纤温度传感器通过一穿过所述石英管的光纤与所述环形器连接；所述环形器通过光纤分别与所述宽带光源和所述光谱仪连接；所述光谱仪与所述计算机电连接；所述计算机用于读取和记录所述光谱仪采集的光谱。本发明提供的等离子气体的温度测量装置，能够利用测得的中性气体温度来表征甚高频大面积容性耦合等离子体中的电磁效应，且具有响应快和检测准确的特点。
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公开(公告)号：CN109031166B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201810901359.4
申请日：2018-08-09
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01R33/02
摘要： 本发明公开一种磁探针装置。所述磁探针装置包括：磁探针本体和信号处理电路，所述磁探针本体输出端与所述信号处理电路的输入端连接；所述信号处理电路包括第一电容、第二电容、法拉第屏蔽装置和升压变压器，所述法拉第屏蔽装置固定于所述升压变压器的原边线圈和副边线圈之间；所述升压变压器的原边线圈设置中心抽头，并且所述中心抽头接地；所述原边线圈的第一端串联所述第一电容，所述原边线圈的第二端串联所述第二电容。采用本发明的磁探针装置可以改善磁探针的信噪比，提高等离子体中磁场的测量精度。
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公开(公告)号：CN109031166A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810901359.4
申请日：2018-08-09
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01R33/02
摘要： 本发明公开一种磁探针装置。所述磁探针装置包括：磁探针本体和信号处理电路，所述磁探针本体输出端与所述信号处理电路的输入端连接；所述信号处理电路包括第一电容、第二电容、法拉第屏蔽装置和升压变压器，所述法拉第屏蔽装置固定于所述升压变压器的原边线圈和副边线圈之间；所述升压变压器的原边线圈设置中心抽头，并且所述中心抽头接地；所述原边线圈的第一端串联所述第一电容，所述原边线圈的第二端串联所述第二电容。采用本发明的磁探针装置可以改善磁探针的信噪比，提高等离子体中磁场的测量精度。
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公开(公告)号：CN105044010A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510414713.7
申请日：2015-07-15
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： G01N21/31
摘要： 一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置，属于等离子体光谱诊断领域。这种光谱诊断装置包括大功率宽带LED光源系统、光学谐振腔系统、光路调节辅助系统三个部分。宽带LED光源发出的宽带光经过凸透镜和球面反射镜聚焦和准直之后，耦合进由两片高反镜组成的光学谐振腔内。谐振腔透射出的宽带光，经带通滤波片滤波，由平凸透镜聚焦到光纤耦合器的端面上，由光谱仪记录光谱强度分布。光学谐振腔是由两片平凹高反镜组成，并利用辅助激光将其调节为谐振器。该光谱诊断装置能够增强粒子对光的吸收程长，提高信噪比，能够测定多种物种浓度，能够有效抑制反应性气体对高反镜的污染，提高高反镜的使用寿命等。
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公开(公告)号：CN111586957B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201910121096.X
申请日：2019-02-19
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 本发明公开一种容性耦合等离子体放电装置。该等离子体放电装置包括：真空腔室、位于真空腔室内的上平板电极和下平板电极以及位于上平板电极与下平板电极之间的层层堆叠的绝缘环；每个绝缘环均与相邻的绝缘环之间存在间隙；层层堆叠的绝缘环中最上方的绝缘环与上平板电极的下表面接触，最下方的绝缘环与下平板电极的上表面接触；上平板电极连接有第一放电驱动杆，第一放电驱动杆延伸至真空腔室外；下平板电极连接有第二放电驱动杆，第二放电驱动杆延伸至真空腔室外。采用本发明的等离子体放电装置能够在实验过程中保证等离子体的轴对称性。
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公开(公告)号：CN112437533A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011427478.4
申请日：2020-12-07
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 本发明涉及一种提高等离子体均匀性的电源系统及方法，电源系统包括：信号发生装置、第一电极和第二电极；信号发生装置包括：信号发生器和多路信号处理电路；信号发生器分别与多路信号处理电路连接，信号发生器用于产生多路不同频率的初始信号；信号处理电路用于对对应频率的初始信号进行处理；多路信号处理电路均与第一电极连接；经信号处理电路处理后的初始信号通过第一电极作用于等离子体。本发明能够对低频电源和高频电源中的信号进行有效的处理，提高了等离子体放电的稳定性，降低了高频电源和低频电源存在的耦合作用的影响，在提高等离子体均匀性的前提下，可以实现离子通量和离子能量的独立控制。
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公开(公告)号：CN111586957A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201910121096.X
申请日：2019-02-19
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 本发明公开一种容性耦合等离子体放电装置。该等离子体放电装置包括：真空腔室、位于真空腔室内的上平板电极和下平板电极以及位于上平板电极与下平板电极之间的层层堆叠的绝缘环；每个绝缘环均与相邻的绝缘环之间存在间隙；层层堆叠的绝缘环中最上方的绝缘环与上平板电极的下表面接触，最下方的绝缘环与下平板电极的上表面接触；上平板电极连接有第一放电驱动杆，第一放电驱动杆延伸至真空腔室外；下平板电极连接有第二放电驱动杆，第二放电驱动杆延伸至真空腔室外。采用本发明的等离子体放电装置能够在实验过程中保证等离子体的轴对称性。
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公开(公告)号：CN109545644A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811524763.0
申请日：2018-12-13
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明公开一种等离子源装置。包括：真空腔室、上极板、下极板和分子泵；真空腔室为圆柱形状，真空腔室的腔壁上分布有多个不同的诊断窗口；上极板包括圆形的上极板面和第一立柱，第一立柱与圆形的上极板面为一体结构，形成倒立“T”型；下极板包括圆形的下极板面和第二立柱，第二立柱与圆形的下极板面为一体结构，形成“T”型；上极板的上极板面与下极板的下极板面形成平行板结构；分子泵位于真空腔室的下方，分子泵通过管道连接真空腔室底部的气孔，真空腔室由分子泵抽真空。本发明不仅可以充分利用放电腔室，减少大量成本，节省时间，而且可以通过对比多种诊断结果，更好的研究分析等离子体的特性，指导工业刻蚀工艺。
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